Das Reinraum Wiki: Begriffe und Definitionen

Vorgehen, bei dem die Wirksamkeit und Eignung der Extraktionsparameter überprüft wird, indem die Extraktion in identischer Weise merhmals am gleichen Prüfobjekt wiederholt wird [in Anlehung an ISO 16232] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Oberflächenwiderstand

Elektrischer Widerstand, gemessen zwischen zwei Elektroden an einer Oberfläche (hier z.B. Bodenbelag; EN 1081)

Erdableitwiderstand

Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode an einem beliebigen Oberflächenpunkt des Betriebsmittels und dem Betriebsmittel-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial 0 V (Masse) liegt.

Antistatische Eigenschaften

Fähigkeit, elektrostatische Aufladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen durch Leitung oder andere Mechanismen auf einen festgelegten Wert oder auf den Nennwert abzubauen.

Elektrisches Oberflächenpotenzial

“Inseln” mit positiver oder negativer Ladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen führen zu einem Potenzialwert zwischen diesen Ladungen. Das elektrische Oberflächenpotenzial entspricht einem Spannungswert, welcher durch geeignete Messgeräte (z.B. Tera-Ohm-Meter oder Feldstärkenmessgeräte) angezeigt werden kann.

(Quelle: VDI 2083 Blatt 9.1, Dezember 2006)

Fähigkeit, vorhandene Ladungen kontrolliert und ausreichend schnell abzuführen (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Abluft ist die durch Teilchen verunreinigte, aus den reinen Bereichen abgeführte Luft. Sie teilt sich anschließend im Regelfall in die Umluft des Primärkreises, in die Umluft des Sekundärkreises und in die Fortluft.

Abnahmemessungen für Reinräume dienen dem Nachweis der Übereinstimmung mit den festgelegten Anforderungen der reinheitstechnischen Parameter. Sie erfolgen nach vorgeschriebenen Standards entsprechend DIN EN ISO14644-1, DIN EN ISO 14644-4 und VDI 2083-3. Die Abnahmemessungen umfassen dabei mindestens

• Luftvolumenstrom- / Luftgeschwindigkeitsprüfung
• Bestimmung der Luftwechselzahl
• Differenzdruckprüfung
• Dichtheitsprüfung für Filter
• Zählung luftgetragener Partikel inkl. statistische Auswertung und Klassifizierung des Reinraumes

Weitergehende Messungen umfassen Klimaparameter, Schallpegel und Beleuchtungsstärke u. a..

Wie solch eine Messung durchgeführt wird, erfahren Sie hier.

Im Allgemeinen wird mit dem Abscheidegrad die Wirksamkeit von Trennverfahren bewertet. In der Reinraum-Filtertechnik beschreibt der Abscheidegrad eines Filters das Verhältnis von abgeschiedenen Partikeln zu eingetretenen Partikeln pro Volumeneinheit und wird in Prozent angegeben.

Abscheidegrad (in %) = 100 x (C_E-C_A) / C_E

C_E= Partikelkonzentration bei Lufteintritt C_A= Partikelkonzentration bei Luftaustritt

Der Abscheidegrad ist von der Partikelgröße abhängig. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Filterklassifizierung anhand des Abscheidegrades  gegenüber dieser Partikelgrößen.

ε ist das Verhältnis der im Filter zurückgehaltenen zur ankommenden Staubmenge:

Beispiel: ε=99,9 %           0,999

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Verhältnis der vom Filter zurückgehaltenen Partikel zu den auf das Filter aufgegebenen Partikeln

• Integrierter Abscheidegrad: Abscheidegrad, gemittelt über die gesamte Durchströmfläche eines Filterelementes bei festgelegten Betriebsbedingungen des Filters.
• lokaler Abscheidegrad: Abscheidegrad an einer bestimmten Stelle des Filterelementes bei festgelegten Betriebsbedingungen des Filters.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Maß für die Wirksamkeit des Filters, den zugeführten synthetischen Staub gemäß ASHRAE-Standard 52-76 aus der Testluft abzuschneiden.

Der Anscheidegrad wird aus dem prozentuellen Masseverhältnis durch Wägung ermittelt.

Anmerkung: ASHRAE = amerikanische Gesellschaft für Heizungs-, Kälte- und KLima-Ingenieure

(Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

gemittelter Wert der Abscheidegrade, bei Staubbeladung des Filters im Laufe der Prüfung festegestellt wurde. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Minimum der Fraktionsabscheidegradkurve bei fesgelegten Betriebsbedingungen des Filters (siehe 3.1.24).

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Abtrennung von Stauraumbereichen, anlagen- oder funktionsbedingt.

Übertragung von Infrarotenergie auf die Moleküle, die im Signalweg der Strahlung vorhanden sind. (Original EN: Transfer of infrared energy to the molecules present within the pathway of the radiation.) (Quelle: ECSS-Q-ST-70-05C,2009)

eng.: air clenliness by chemical concentration- Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration

Grad, angegeben als ISO-Stufe  N, die den Höchstwert der zulässgen Konzentration einer bestimmten chemischen Zustandsform oder Gruppe von chemischen Zustandsformen darstellt, angegeben in Gramm je Kubikmeter Luft (g/m³)

Anmerkung 1 zum Begriff: Diese Definition berücksichtigt keine Makromoleküle biologischen Ursprungs, die als Partikel bewertet werden.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

ACC (Airborne Chemical Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

Qualitative und quantitative Überprüfung der spezifizierten Parameter und/ oder Abnahmekriterien eines Minienvironments (ME) am geplanten Einsatzort vor Produktivnahme (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Mini-Environment, das mit dem Prozesstool nicht fest verbunden und damit demontierbar ist und Komponenten zur Versorgung mit konditionierter Luft enthalten kann, jedoch nicht zwingend enthält  (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Mehr zum Thema Minienvironment finden Sie hier.

Durch im Umluftbetrieb arbeitende zusätzliche (additive) LF-Geräte wird in einem reinen Bereich durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung der Reinheitsgrad der Luft örtlich gegenüber der turbulent durchströmten Umgebung gesenkt.

Vorgang der Anlagerung eines Atoms oder Moleküls aus der Gas- oder Flüssigphase an eine Festkörper-Oberfläche (Quelle: VDI 2083; Blatt 8.1, Düsseldorf 2014)

“Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, bei dessen Überschreitung unverzügliches Eingreifen, einschließlich Ursachenuntersuchung und Korrekturmaßnahmen, erforderlich ist. [DIN EN ISO 14644-7]
(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Die mit der Reinraumluft in Kontakt kommende Oberfläche (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Mini-Environment, das durch aktive Belüftung über Schwebstoff- und/oder AMC-Filter [veralteter Begriff – siehe ACC] oder Schutzgasdurchströmung speziell konditionierte Prozessbedingungen schafft (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Wie solch ein Mini-Environment gestaltet sein kann, erfahren Sie hier.

Wirksame Konzentration von Atomen, Ionen und Molekülen. Es ist das Konzentrationsmaß, das in die für ideale Mischungen und Lösungen abgeleiteten Gesetzte (z.B. das Massenwirkungsgesetzt) einzusetzen ist, damit sich diese auch dann anwenden lassen, wenn in dem betreffenden System kein ideales Verhalten mehr vorliegt. Es wird durch den Aktivitätskoeffizienten ausgedrückt. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Quantifizierte und dokumentierte Reinheitsanforderung (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf, 2018)

“Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, der frühzeitig vor dem Abweichen von den normalen Bedingungen warnt, und bei dessen Überschreitung dem Prozess verstärkte Aufmerksamkeit gewidmet werden sollte. [DIN EN ISO 14644-7]”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Säureverbrauch eines Wassers (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Prüfverfahren, zur Verifizierung derselben Eigenschaft, das nachweislich Ergebnisse liefert, die mit den Vorzugsverfahren übereinstimmen

(Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Reinraum oder Reiner Bereich mit allen zugehörigen Einrichtungen, Luftaufbereitungssystemen, Anschlüssen und Betriebsmitteln. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Abkürzung für automatic pallet carrier; ein automatischer Palettentransporter zur Versorgung von Fertigungssystemen mit Werkstücken, Werkzeugen und Hilfstoffen. (Quelle: Begrisslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Abkürzung für advanced parts orientating system: ein in Japan entwickeltes System zum Ordnen von Teilen. Es nutzt Vibrationsantriebe und füllt Formnester mit Werkstücken. Dabei werden viele Werkstücke über die Formnester geführt. Nach Ablauf der Überschüttungsdauer werden nicht magazinierte Werkstücke mit Druckluft in einen Sammelbehälter geblasen und wieder in den Bunker zurückgeführt. Das befüllte Magazin wird ausgeschleust und gegen ein neues Leermagazin getauscht.(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

In der Atmosphäre eines Reinraumes oder einer kontrollierten Umgebung vorhandene molekulare (chemisch nicht partikular) Gase oder Dämpfe, die sich schädlich auf den Menschen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment auswirken können (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

AMC (Airborne Moleculare Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

Aminofilter sind chemische Filter, die Aminoverbindungen aus der Luft filtern und chemisch binden. Der Einsatz von Aktivkohle ohne chemische Imprägnierung ist nicht zielführend, da Aminoverbindungen von der unbehandelten Aktivkohle nicht zurückgehalten werden können. 

Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch eine Größenklassifizerung der Partikel ermöglicht (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers) [EN 1822-5:2000]

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-4: August 2000; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 4: Leckprüfung des Filterelementes (Scan-Verfahren); Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die Anfangsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz des sauberen Prüflings im Betrieb bei Nennvolumenstrom. Sie wird in Pa angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

jene Druckdifferenz, die sich am neuen, unbestaubten Filter, das mit dem Betriebsvolumenstrom beaufschlagt wird, einstellt. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

jene Druckdifferenz, die sich am neuen, unbestaubten Filter, das mit dem Nennvolumenstrom beaufschlagt wird, einstellt (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Die Anströmfläche ist die innere Querschnittsfläche des Prüfkanals direkt vor dem Prüfling. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Querschnittsfläche eines Filterelementes einsschließlich Rahmen.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die Anströmgeschwindigkeit ist der Quotient aus Volumenstrom und Anströmfläche. Sie wird in m/s angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Material, das es der elektrostatischen Ladung ermöglicht, über seine Oberfläche und/ oder durch sein Volumen innerhalb einer Zeit abzufließen, die kurz ist im Vergleich zu der Zeit der Ladungserzeugung oder der Zeit, innerhalb derer diese Ladung ein elektrostatisches Problem herbeiführen kann. (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Partikelanzahl pro Volumenelement Trägergas (Luft).

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die für den Betrieb einer Anlage verantwortliche Organisation. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Arbeitsplätze im Sinne der LärmVibrationsArbSchV sind alle Orte (ortsfest oder mobil bzw. ortbeweglich), an denen sich Beschäftigte bei der Arbeit aufhalten. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Mehr zum Thema Reinluftarbeitsplätze finden Sie hier.

Aufstellbereich der Elektronikmaschinen (EM)-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Substanz, die zu einer unerwünschten zerstörenden chemischen Veränderung einer Oberfläche führt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Die Erhöhung der Salzkonzentration im ablaufenden Wasser gegenüber dem Rohwasser als Ergebnis des Überschusses an Regenerationsmitteln, der notwendigerweise bei der Regeneration von Ionentauschern und der Neutralisation der Regenerate eingesetzt werden muss. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Bereich außerhalb des Umgebungsbereichs einschließlich der äußeren Teile der Material- und Personalschleusen (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Außenluft ist die aus der freien Atmosphäre angesaugte Luft.

Montage und Einrichtung eines Reinraumes oder Reinen Bereiches (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Freisetzung molekularer Substanz(en) im gas- oder dampfförmigen Zustand aus einem Material.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

chemische Verbindung in gasförmigen Zustand, die von einem Material unter üblichen festgelegten Reinraumbedingungen (Temperatur, relative Feuchte und Druck) freigesetzt werden.

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Alle Gegenstände, die in einen Reinen Bereich eingebracht werden können. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Bedingungen und Verfahren, die angewendet werden, um die Einführung mikrobieller mikrobiologischer Kontamination auszuschließen. (Quelle: DIN En 17141, Entwurf, Berlin 2018)

Die Barriereklassen orientieren sich an der von der reinen Umgebung zu leistenden Schutzwirkung, je nach Anwendung

• personenbezogen,
• produktbezogen,
• umweltbezogen oder
• Kombinationen aus den vorgenannten.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

Substanz, deren chemische Reaktion dadurch gekennzeichnet ist, dass sie durch Abgabe von Elektronenpaaren neue Bindungen bildet (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Stoffmenge an Hydroxid-Ionen (HO), die ein bestimmtes Volumen Wasser aufnehmen kann, dies diese einen bestimmten pH-Wert erreicht hat. Es werden die gleichen pH-Endwerte wie bei der Säurekapazität festgestellt.(Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

<Tribologie> Parameter der Eingangsgrößen, die auf reibend belastete Werkstoffpaarungen einwirken (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Zustand der vollständigangeschlossenen und in Funktion befindlichen Anlage, jedoch ohne Produktionseinrichtungen, ohne Ausrüstung und ohne Personal. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Druck, bei dem ein gegebenenfalls bleibender Schaden am Raum/ System auftritt.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Einrichtung oder Gegenstände, die in eine Reinraumumgebung eingebracht werden:

-Produktionseinrichtungen (z.B. Bonder, Montageeinrichtungen, Abfüllanlagen)

-Mess- und Prüfeinrichtungen (z.B. Inspektionseinrichtungen, Mikroskope)

-Transport- und Handhabungseinrichtungen (z.B. Linearachsen, Förderbänder, Roboter)

-Lagereinrichtungen (z.B. Boxen, Puffer)

-Organisationsmittel (z.B. Werkstückträger)

-Innenausstattung (z.B. Tische, Stühle)

-Inneneinrichtungen (z.B. Wände, Türen, Decken, Böden)

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Zustand für Reinräume (Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung) gemäß DIN EN ISO 14644-1; 4.1

Anmerkung: Die Betriebszustände für Betriebsmittel sind zu vereinbaren.

(Quelle:VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

“Zustand des vollständig angeschlossenen und in Funktion befindlichen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Produktionseinrichtungen, ohne Ausrüstungen und ohne Personal” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

“Zustand des vollständig eingerichteten und wie vereinbart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Personal” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

“vereinbarter Zustand des in der festgelegten Betriebsart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs mit der Ausrüstung in Betrieb und mit der festgelegten Anzahl anwesender Personen” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Druck, bei dem die Luftdichtheitsanforderungen eingehalten werden müssen. (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Normal, im Allgemeinen von der höchsten verfügbaren Genauigkeit, an einem betrachteten Ort oder bei einer Organisation, von dem Messungen abgeleitet werden. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 5.6 (1)] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Der Bezugsquader ist ein hypothetischer Körper in der Form des kleinsten Quaders, der die Maschine (abgesehen von einzelnen, nicht zur Schallabstrahlung beitragenden Bauteilen) gerade einschließt und an der (den) reflektierenden Ebene(n) endet. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Bezugsteilchengröße ist die Teilchengröße, auf die sich die Häufigkeitssumme bezieht.

Fein verteile biologische Agenzien in einer gasförmigen Umgebung (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Kontamination von Rohstoffen, Geräten, Personen, Oberflächen, Flüssigkeiten, Gasen oder Luft mit lebensfähigen Partikeln (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Messung zur Überwachung der Biokontamination, die kontinuierlich oder in regelmäßigen Zeitabständen vorgenommen werden (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Der Blindwert repräsentiert die zusätzliche Verunreinigung bei der Prüfung des/ der Bauteile, die sich, beginnend beim Auspacken des Bauteils bis einschließlich der Analyse der Partikelfracht, einstellen können.

Faktoren, die das Analyseergebnis beeinflussen können sind:

– Umgebung (Luft/ Personal/ Arbeitsplatz)

– Prüfflüssigkeit

– Gegenstände, die in KOntakt mit dem Bauteil und der Prüfflüssigkeit kommen

Die Sauberkeit des Prüfumfeldes muss dem von dem Bauteil geforderten Sauberkeitsniveau angepasst sein. Dies wird bei der Bestimmung des Blindwertes überprüft.

Der zulässige Blindwert darf 10 % des geforderten Sauberkeitswerts des Bauteils nicht überschreiten.

(Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Reduzierung des Prüfumfangs im Rahmen einer Reinigungsvalidierung auf Basis einer Risikobewertung, indem nur die Extreme aus Reinigungssicht berücksichtigt werden (Bracketing) und vergleichbare Produkte oder Prozesse zusammengefasst werden (Matrixing). (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Abkürzung für computer aided handling: System zur Stimulation von Handhabungsvorgängen. Dazu werden z.B. geometrische Modelle zwischen DAD-Systemen und CAH ausgetauscht. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Vorgang der systematischen Untersuchung von auftretenden Abweichungen mit der anschließenden Ableitung oder Durchführung von Korrekturmaßnahmen und Vorbeugungsmaßnahmen und Vorbeugungsmaßnahmen. [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-9, 3.3] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Handhabungseinrichtung in der Halbleiterfertigung zum Halten von Materialien für verschiedene Prozessschritte [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Handhabungseinrichtung aus Metall oder Kunststoff zum Halten von Wafern und / oder Masken während des Transports oder eines Prozesses. [ DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Clean, dry air; saubere, trockene Luft (Quelle: SEMI F28-1103, test method for measuring particle generation from process panels, 2003)

Widerstandsfähigkeit von Materialien oder Werkstoffen gegen die Einwirkung von Chemikalien/ Stoffen (z.B Reinigungs- und Desinfektionsmittel) (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

chemische (nicht-partikuläre) SToffe, die eine schädliche Wirkung auf das Produkt, das Verfahren oder die Ausrüstung haben können

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

eng.: SCC – surface cleanliness by chemical concentration

Zustand einer Oberfläche in Bezug auf deren chemische Konzentration

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

Anhäufung von Molekülen

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

Condensation nucleus counter; Kondensationskernzähler (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Hüllfläche um einen oder mehrere dichte Räume mit festgelegten Dichtheitsanforderungen gegenüber der Umgebung. (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Die Dämmwirkung beschreibt die Reduzierung der Schallausbreitung durch Hindernisse, z.B. durch eine Schallschutzhaube oder -kabine, einen Schallschirm, einen Gebäudeteil oder Gehörschutz. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Sind Stoffe im gasförmigen Aggregatzustand, die durch Verdampfung an der Oberfläche einer Flüssigkeit bzw. durch Sublimation an einem Feststoff entstehen können. Dämpfe können bei Umgebungsbedingungen kondensieren und verhalten sich ansonsten ähnlich wie Gase. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

DI-Wasser; vollentsalztes Wasser; VE-Wasser; Deionat

Wasser, das von Ionen (Anionen und Kationen) der sich in der Lösung befindlichen Salze zu einem vorbestimmten Grad befreit wurde. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

_{Bezeichnet das gezielte Entfernen von Verunreinigungen auf ein definiertes Niveau (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)} 

Z_D ist der Kehrwert des Durchlassgrades, er wird speziell für Filter mit hohen Abscheidegraden benutzt:

Z_D = c₁ / c₂ = 1/D               Z_D = 10³

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

I_D gibt an, um wieviel Zehnerpotenzen die ankommende Staubmenge im Filter reduziert wird.

I_D = lg Z_D                               I_D = 3

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Gas oder Aerosol, mit dem ein Raum zur Dekontamination beaufschlagt wird, Beispiel mit H2O2 (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)  

Inaktivierung aller pathogenen Keime und einer großen Reihe anderer Mikroorganismen auf ein Niveau, das der hygienischen Verwendung der Einrichtung entspricht (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)  

_{Diffenrentialdeskriptor, der den Grad der partikulren Oberflächenreinheit (SCP) innerhalb festgelegter Partikelgrößenbereiche angibt.}

_{Anmerkung 1 zum Begriff;: Der Deskriptor darf auf Bereiche der Partikelgröße angewendet werden, die von besonderem Interesse sind, oder auf die Partikelgrößenbereich, die außerhalb des Bereichs des Einstufungssystems liegen; er kann sowohl unabhängig als auch als Ergänzung zu den SCP-Klassen festgelegt werden.}

_{(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02/ 2022)}

Das Schallfeld im Bereich des Messraums, in dem der Einfluss des von der Quelle empfangenen Direktschalls vernachlässigbar ist. (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)  

Beurteilung der zu bestimmenden Verunreinigung ohne jegliche Zwischenschritte und Probenvorbereitung. [in Anlehnung an ICH Q 10 PQS Guideline] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)  

Das Verfahren, bei dem der Schallleistungspegel aus den gemessenen Schalldruckpegeln einer Quelle im Hallraum sowie aus Volumen und Nachhallzeit des Raumes berechnet wird (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)  

De-ionized water; De-ionisiertes Wasser (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)  

Substanz, die nach Sorption und/oder Diffusion in die Masse eines Produkts übergeht und die, sogar als Spurenbestandteil, dazu in der Lage ist, die Eigenschaften von Materialien zu verändern.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

Δp ist die statische Druckdifferenz über dem Filter:

Δp = | p₁ – p₂ |

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

ungewollte Lichtreflexionen werden dank dunkler Flächen und schwarzer Lüfter-Filter-Module verhindert

Ein Beispiel solch einer dunklern Kabine finden Sie unter folgendem Link

Durchlaufzeit ist der Zeitbedarf für den Materialfluss eines Arbeitsgegenstandes durch ein System. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

D ist das Verhältnis der aus dem Filter austretenden zur ankommenden Staubmenge:

D = c₂/c₁ = 1 – ε

Beispiel: D= 0,001     10 -³

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Verhältnis der Partikelkonzentration auf der Abströmseite zur Partikelkonzentration auf der Anströmseite eines Filters.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Maß für die Durchlässigkeit eines Filters gegenüber Natriumchlorid-Aerosolen bzw. Dioctylphthalat-(DOP-) Aerosolen. Die Verfahren, diese Größe zu bestimmen, basieren auf dem flammenphotometrischen Vergleich der NaCl-Konzentration bzw. einer Streulichtmessung in der Luft vor und nach dem Prüfling. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Querschnittsfläche eines Filterelements, die im Betrieb angeströmt wird.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die Durchströmgeschwinigkeit ist der Quotient aus Volumenstrom und freie Filterfläche. Sie wird in m/s angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Fläche des in ein Filterelement eingebauten Filtermediums (ohne Klebeflächen, Stege usw.), die im Betrieb durchströmt wird.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln –ohne Größenklassifizierung– in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers) [EN 1822-5:2000]

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-4: August 2000; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 4: Leckprüfung des Filterelementes (Scan-Verfahren); Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Wirkorgan, auch Arbeitsorgan, das unmittelbar auf ein Objekt einwirkt. Bei Handhabungsmaschinen zählen Greifer und Werkzeuge dazu. In der Peripherie eines Roboters können es auch Spannvorrichtungen sein. In der Biologie bezeichnet man den “Erfolgsapparat”, das sind Muskelpartien und Drüsen, ebenfalls als Effektor. [Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994, Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Eigenschaft, von technischen Einrichtungen, insbesondere von Sensoren und Steuerungen, eine eigene Fehlfunktion selbst und mit Sicherheit zu erkennen. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Kleinster numerischer Programmierschritt, d.h. kleinste unterscheidbare (Mess-)Einheit, die in einer Steuerung als Sollwert eingegeben werden kann. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Bei anlageninternen Handhabungssystemen in Halbleiterfertigungsgeräten ist in der Regel die Einzelscheibenhandhabungssysteme realisiert. Hier können prinzipiell vier verschiedene Systeme unterschieden werden:

• Luftkissentransport
• Riementransport
• Hubbalken
• Pick & Place

[Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme, Springer-Verlag 1989, Jürgen Geißinger]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Durch Reibungs- und Trennvorgänge von Materialien (tribologische Aufladung) oder das Einwirken eines elektrischen Felds (Induktion oder Influenz) auftretende Potenzdifferenz. (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Spontaner Ladungsübergang zwischen zwei Körpern oder Materialien mit unterschiedlichen elektrostatischen Potenzialen, verursacht durch direkten Kontakt oder induziert durch ein elektrostatisches Feld (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Material, das der elektrostatischen Ladung ermöglicht, über seine Oberfläche und/oder durch sein Volumen innerhalb kürzester Zeit abzufließen (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

empfohlene: jene Druckdifferenz, bei der vom Filterhersteller oder Ersteller der lüftungstechnischen Anlage aus wirtschaftlichen oder technischen Gründen der Filtertausch empfohlen wird.

zulässige: jene Druckdifferenz, die vom Filterhersteller aufgrund der konstruktiven Eigenschaften des Filters als zulässiger Höchstwert angegeben wird. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Das Endfilter ist ein Luftfilter, das zum Abscheiden des synthetischen Staubes, der durch den Prüfling hindurchtritt, dient. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Letzter Filter zwischen Luftzufuhr und einem Reinen Bereich (Quelle: ÖNORM ENV 1631, 1996 Wien)

Medizinprodukt im gebrauchsfähigen Zustand, wie in der Spezifikation oder Kennzeichnung durch den Hersteller festgelegt. [DIN EN ISO 10993-1] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Letzter Reinigungsschritt im Herstellungsprozess, mit dem Bearbeitungsrückständensoweit abgereichert werden, dass bestehende Reinheitsanforderungen aus medizinischer, technischer, oder sonstiger Notwendigkeit erfüllt werden. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Weitere Erläuterungen zum Thema Reinigung und deren Ablauf finden Sie hier erläutert.

Electropolished; elektropoliert (Quelle: SEMI F28-1103, test method for measuring particle generation from process panels, 2003)

Expanded polystyrene; expandiertes Polystrol (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode auf der Oberfläche des Werkstoffs und dem Werkstoff-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial 0 V liegt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

“elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode an einem beliebigen Oberflächenpunkt des Betriebsmittels und dem Betriebsmittel-Erdungspunkt, der auf dem Potenzial o V (Masse) liegt” (Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

“Die Prüfung der Erholzeit wird durchgeführt, um zu bestimmen, ob die Anlage in der Lage ist, nach kurzer Beaufschlagung durch eine Quelle von luftgetragenen Partikeln innerhalb einer begrenzten Zeitspanne wieder zu ihrer festgelegten Reinheitsklasse zurückzukehren. Diese Prüfung wird für Anlagen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung nicht empfohlen. Das Verfahren für diese Prüfung wird in B.12 angegeben. (Anmerkung: Bei Verwendung eines künstlichen Aerosols sollte eine Restkontamination der Anlage vermieden werden.)” (Quelle: DIN EN ISO 14644-3:2005, Kapitel 4.2.9 Prüfung der Erholzeit)

Im Gegensatz zur Prüfung der Erholzeit von Reinräumen, bei denen es nur in turbulenten Bereichen sinnvoll ist, wird die Erholzeit in Minienvironments, in denen meist eine turbulenzarme Verdrängungsströmung herrscht, auch durchgeführt. Richtlinien aus der Halbleiterindustrie schlagen eine Erholzeit in Minienvironments von einer (1) Minute vor. Dies kann gegebenenfalls auf Grund der Komplexität einer Maschine mit Minienvironment und/ oder einer geringen Luftgeschwindigkeit innerhalb des Minienvironments von dieser Vorgabe abweichen.

Der Erneuerungsschritt ist der lineare Vorschub des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium.

Er wird in cm angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Luft, die denselben Reinheitsgrad hat wie die aus den Schwebstofffiltern austretende Luft (Quelle: VDI 2083: Blatt 3; Entwurf von August 2021; Düsseldorf)

Prüfung bei Übergabe an den Auftraggeber zum Nachweis, dass die vereinbarten Akzeptanzkriterien eingehalten werden (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Mehr zu Serviceleistungen und Messungen in reinen Umgebungen finden Sie hier.

Extraktion beschreibt ein probenehmendes Verfahren, um Partikel mittels Prüfflüssigkeit vom Bauteil abzutragen und diese auf einen Analysefilter zu sammeln.

Extraktionsmethoden:

• Spritzen – Prüfflüssigkeit wird mittels Feinstrahl auf das Bauteil oder bestimmte Bauteilflächen aufgebracht, um Partikel zu lösen
• Ultraschall – Lösen der Partikel mittels Ultraschallbad
• Spülen – Bei der Extraktion mittels Spülstand wird ein geschlossenes Bauteil mit einer Prüfflüssigkeit innen durchströmt, um die Partikel der benetzten Oberfläche abzulösen und auszutragen
• Schütteln – Das Bauteil (z.B. Rohrleitung) wird mit Prüfflüssigkeit befüllt und die Öffnungen werden verschlossen. Durch Schütteln unterstützt, werden Partikel gelöst und auf die Prüfflüssigkeit übertragen.

(Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Zur präzisen Wägung ist eine sorgfältige Präparation und Trocknung des Analysefilters im Trockenofen bei anschließender Rückkühlung im Exsikkikator erforderlich. Im Exsikkator befinden sich Indikationstrockenperlen, die beim Abkühlen des Analysefilters auf Raumtemperatur verhindern, dass Luftfeuchtigkeit vom Filter aufgenommen wird.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Als Fachkraft gilt, wer aufgrund seiner fachlichen Ausbildung, Kenntnisse und Erfahrungen sowie Kenntnis der einschlägigen Bestimmungen die ihm übertragenen Arbeiten beurteilen und mögliche Gefahren erkennen kann. (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

Durch Hüllkonstruktionen geschlossener, ortsfester reiner Arbeitsplatz mit vertikaler turbulenzarmer Verdrängungsströmung mit eigenem Umluftventilator.

Zu einem aus gleichartigen Einzelfalten bestehenden Paket verarbeites Filtermedium.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Nicht metallische Partikel, die bei gleichzeitig einheitlichem Querschnitt eine sehr große Länge im Vergleich zur Breite aufweisen. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

“Der Federal Standard 209E wurde im Jahr 2001 eingestellt und durchd ie ISO-Norm ersetzt. Diese Norm wird jedoch in vielen Vergleichstabellen beibehalten, um die Konsistenz zwischen älteren und neueren Anlagen zu wahren.

In dieser Tabelle sind die empfohlenen Luftwechsel pro Stunde für Reinräume nach ISO 14644-1:2015 und den zugehörigen GMP-Grad und Federal Standard aufgeführt.

Reinraum Standard                                                     Richtlinien zur Reinraumklassifizierung

Quelle: The Federal Standard 209E (connect2cleanrooms.de)

Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 10 300. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Mehr zum Thema Reinigung von Baugruppen und Maschinen finden Sie hier.

Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 1 000. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Zustand der in der festgelegten Betriebsart laufenden Anlage mit dem vorgesehenen, wie vereinbart arbeitenden Personal. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Abgrenzung zwischen der Festphase und einer zweiten Phase

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

Fast fourier transformation; schnelle Fourier Umwandlung (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Modul, bestehend aus einem oder mehreren Ventilatoren oder mehreren Filterelementen zur Erzeugung eines reinen Luftstroms (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Weitere Informationen zu Lüfter-Filter-Modulen finden Sie hier.

Eingebautes Filter

Aus Filtermedium, Filterrahmen und Haltesystem bestehende Einheit, welche in Decke, Wand, in ein Gerät oder in einen Luftkanal eingebaut ist.

Endständiges Filter

Unmittelbar am Kanalende (am Luftaustritt in den Reinraum) installiertes Filter.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Das von einem Rahmen umschlossene Faltenpaket

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

umgangssprachlich für Lüfter-Filter-Modul / Fan-Filter-Unit

Planes, ungefaltetes Filtermaterial

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Volumenstrom dividiert durch die effektive Filtermediumfläche eines Filterelements.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Verhältnis zwischen Flüssigkeit und Trockengewicht der gewaschenen Bekleidungsstücke

(Quelle: VDI 2083, Blatt 5.2, Oktober 2008)

Veralteter und inzwischen ungebräuchlicher Begriff. Der Begriff Flowbox wird durch Kunden für verschiedene Produkte verwendet und ist daher missverständlich. Diese Produkte sind:

• Lüfter-Filter-Module /FFM
• Reinluft-Abeitsplätze
• Reinraumkabinen

Flüssigkeit oder Gas mit Ausnahme der Raumluft, die oder das in einem Reinen Bereich verwendet bzw. diesem zugeführt wird. (Quelle: ÖNORM ENV 1631, 1996 Wien)

Stoffe, die sichtbares Licht bei Anregung mit kurzwelligem Licht bis ins Ultraviolett oder durch Elektronenbeschuss emittieren.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Abkürzung für flexible manufacturing system; ein flexibles Fertigungssystem (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Fortluft ist die aus dem reinen Bereich in die freie Atmosphäre abgeführte Luft.

Abscheidegrad für einen bestimmten Partikeldurchmesser. Der Fraktionsabscheidegrad in Abhängigkeit vom Partikeldurchmesser wird als Fraktionsabscheidegradkurve dargestellt.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch eine Größenklassifizierung der Partikel ermöglicht (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers) (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Die freie Filterfläche ist die Druckdifferenz des sauberen Prüflings im Betrieb die Nennvolumenstrom. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Das Freifeld ist ein Schallfeld ohne Begrenzungsflächen oder mit absorbierenden Begrenzungsflächen, deren Einfluss auf das Schallfeld im Bereich des Messfläche im interessierenden Frequenzbereich vernachlässigbar ist. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Als Fremdgeräusch gilt jedes Geräusch, das nicht von der zu untersuchenden Maschine erzeugt wird oder das von angeschlossenen Bauteilen, die nicht zum Messgegenstand gehören, unmittelbar ausgestrahlt wird. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Montagegruppen aller Fertigstellgrade (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Montagarbeiten, wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindenachschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Sind Stoffe in einem Aggregatzustand, in dem Moleküle infolge Brown’scher Molekularbewegung frei im Raum bewegen können und bei Umgebungsbedingungen nicht kondensieren. Die mittleren Abstände der Moleküle gegenüber ihren Abmessungen sind groß. Die Moleküle haben daher das Bestreben, den ihnen zur Verfügung stehenden Raum gleichmäßig auszufüllen. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Normal, das routinemäßig benutzt wird, um Maßverkörperungen, Messgeräte oder Referenzmaterialien zu kalibrieren oder zu prüfen. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 5.7[1]] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Qualität und Widerstandsfähigkeit/Beständigkeit gegen das zeitbedingte Nachlassen notwendiger Gebrauchseigenschaften der Oberfläche eines Betriebsmittels oder dessen Verschleißfestigkeit

Anmerkung: Die Alterungsbeständigkeit ist eine der physikalisch-chemischen Struktur innewohnende Eigenschaft. Die Verschleißfestigkeit beruht auf den mechanischen Eigenschaften des Betriebsmittels und lässt sich mit physikalischen Methoden prüfen.

(Quelle:VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Die Genauigkeit ist die allgemeine qualitative Bezeichnung für die Annäherung von Beurteilungsergebnissen (Beobachtungs-, Berechnungs- sowie statistische Schätzergebnisse) an die exakten oder an die wahren Werte. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

• Streulicht- Einzelpartikelzähler

LSAPC (en: light scattering (discrete) airborne particle counter)

Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Partikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen und Größendaten

als optische Äquivalentdurchmesser auszugeben

• Makropartikel-Einzelzähler

Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Makropartikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen

• Partikeldepositionszeitmessgerät

Gerät zur Einzelpartikelzählung und -größenbestimmung, das den aerodynamischen Durchmesser von Partikeln durch

Messung der Zeit bestimmt, die vergeht, bis sich ein Partikel einer Änderung der Luftgeschwindigkeit angepasst hat”

(Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Der geregelte Betriebszustand ist eine Betriebsweise, bei der eine gleichmäßige Erneuerung des Filtermediums eines Luftfilters mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium eine sich annährend wiederholende gleichartige Auswirkung auf die Leistungswerte hat, die dadurch gesteuert werden. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Graphite furnace atomic absorption spectroscopy; atomare Absorptionsspektroskopie im Graphitrohr (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

veralterer Begriff, Arbeitsbereich mit erhöhten Reinheitsanforderungen ohne definierte Partikelreinheitsklasse der Luft nach ISO 14644-1 und geringerer Partikelkonzentration als in der Außenluft

Arbeitsbereich mit erhöhten Reinheitsanforderungen ohne definierte RKL und geringere Partikelkonzentration als die Außenatmosphäre (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Ist die Bestimmung der Masse der Partikel.

Die abgelöste Partieklfracht des / der Bauteile wird durch den Massenzuwachs eines Analysefilters bestimmt. (Differenzwägung)

Hierzu wird ein Analysefilter vor und nach der Filtration der Analyseflüssigkeit mittels einer empfindlichen Analysewaage gewogen.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Reinigung aller Materialien für den Montageprozeß des EMB (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Partikelkonzentration, die durch die Raumlufttechnische Anlage in die Prüfumgebung eingebracht wird. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Alle Vorgänge, bei denen ein geometrisch bestimmter Körper in eine definerte Position und Orientierung zu einem festen Koordinatensystem gebracht und bzw. oder zeitweise in dieser Lage gehalten wird oder bei denen man mit einem Körper eine definierte Bewegung ausübt. Es können weitere Bedingungen vorgegeben sein, wie z.B. Menge der gleichzeitig zu handhabende Körper, Zeit und Bewegungsbahn. Veränderungen am Körper sind während der Handhabung nicht beabsichtigt. Eine Handhabung ist im Allgemeinen nicht auf bestimmte Produktionsbereiche festgelegt, soweit es um geometrisch beschreibbare Gegenstände geht. [Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse, Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Bereich, in dem das Produkt vor, während und nach dem Prozess manuell oder automatisiert bewegt wird (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Im Gegensatz zur Softwall-Kabine ist die Hardwall-Kabine ein Reinraum mit festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Hartschaum, Edelstahl-Lochblech und Einscheibensicherheitsglas bestehen.

Weitere Informationen zum Thema Hardwall-Kabine finden Sie hier.

Das High Efficiency Particulate Air-Filter ist ein Schwebstofffilter in einem starren Rahmen. Der minimale Abscheidegrad ist ≥ 99,95% nach EN 1822.

• Abscheidegrad H13 ≥ 99,95%
• Abscheidegrad H14 ≥ 99,995%

Schwebstofffilter (High Efficiency Particulate Air Filter), Klassen H 10 bis H 14

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die horizontal in den reinen Bereich einströmende Zuluft erzeugt eine horizontale turbulenzarme Verdrängungsströmung.

Die Luftströmung verläuft waagerecht aus der Filterwand und fällt mit der Entfernung langsam zum Boden ab. Dieses Prinzip bietet sich an, wenn der vertikale Luftstrom durch den Aufbau von Maschinen verhindert wird, oder die verunreinigte Luft nur horizontal abgeführt werden soll/kann.

Abscheidung von luftgetragenen Partikeln in Flüssigkeiten durch mehrere zugrunde liegende Mechanismen wie Impaktion, Diffusion, Interzeption und Sedimentation. [VDI 4252 Blatt 3 und VDI 4257 Blatt 2]
(Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Spezielle Gaswaschflasche aus Glas oder Teflon, die dem Sammeln von Luftbestandteilen dient. Die Luft wird im Impinger in Kontakt mit einer Sammelflüssigkeit (Lösemittel oder Sorptionsmedium) gebracht [VDI 2083, Blatt 8.]
(Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Erst-Inbetriebnahme

Vorbereitung und Inbetriebnahme einer Reinraumanlage einschließlich aller Systeme nach Durchführung einer baulichen Maßnahme. Alle für die Funktion eines Systems relevanten Vorgänge und Erfordernisse werden dazugerechnet, z.B. Dokumentation, Schulung und der Betrieb von Hilfseinrichtungen.

Inbetriebnahme

Geplante und dokumentierte Reihe von Inspektionen, Einstellungen und Prüfungen, die systematisch mit dem Ziel durchgeführt werden, die Reinraumanlage bestimmungsgemäß in Betrieb zu setzen.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Beurteilung der zu bestimmenden Verunreinigung mit Zwischenschritten durch Ablösung der Verunreinigung vom Bauteil. [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-9, 3.4] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Einsatzbereit und in Betrieb bei laufender Fertigung (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

In-process control, IPC

Im Verlauf eines Produktionsprozesses durchgeführte Kontrollen, die zur Überwachung und Steuerung des Prozesses dienen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Die gesamte Zuluft für den reinen Bereich wird über LF-Geräte geleitet, die durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung den Reinheitsgrad der Luft örtlich senken. Der übrige Bereich wird durch gezielte Luftführung turbulent durchlüftet.

Bei sehr hohem Installationsgrad und dem Erfordernis, den Installationsraum häufig zu begehen, kann ein Installationsgeschoss erforderlich sein.

Bereich innerhalb des Reinraumgeschosses zur Installation von Versorgungstechnik, lufttechnischen Anlagenteilen.

isopropyl alcohol (2-propanol); Propylalkohol (2-Propanol) (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

Input/Output; Eingabe / Ausgabe (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Internationale Organisation für Standardisierung (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

“Grad (oder die Vorgehensweise der Festlegung oder Bestimmung des Grads) der Partikelreinheit der Luft, der für einen Reinraum oder Reinen Bereich verwendet wird. Der Grad wird in Form von einer ISO-Klasse N ausgedrückt, welche den Höchstwert der zulässigen Konzentrationen (in Partikel je Kubikmeter Luft) für die betrachteten Partikelgrößen darstellt.”

(Quelle: DIN EN ISO 14644-2:1999, Kapitel 2.1.4 Klassifizierung)

In der überarbeiteten Richtlinie aus dem Jahr 2016 ist hierbei jedoch nur folgende Definition für die Klassifizierung zu finden: “Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich. Anmerkung 1 zum Begriff: Die Grade sollten als ISO-Klasse angegeben werden, die den Höchstwert der zulässigen Konzentrationen von Partikeln in einer Einheit des Luftvolumens darstellt.” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06, Kapitel 3.1.4 Klassifizierung)

Eine ISO-Klasse 1 stellt dabei die beste Luftreinheit dar mit weniger und kleineren luftgetragenen Partikeln, als in der ISO-Klasse 5 beispielsweise zu finden.

Mini-Environment, das mit dem Prozesstool fest verbunden oder in dieses integriert ist und damit fester Bestandteil des Prozesstools ist (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Weitere Informationen zum Minienvironment finden Sie hier.

Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln – ohne Größenklassifizierung – in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers). (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Material mit sehr geringer Ladungsbeweglichkeit, sodass auftretende Ladungen nicht abgeführt werden (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Vergleich eines Messstandards oder eines Instruments mit unbekannter Genauigkeit mit einem anderen Standard oder Instrument mit bekannter Genauigkeit. Die Kalibrierung soll der Bestimmung, Zuordnung, Beschreibung oder Beseitigung jeglicher Abweichung in der Genauigkeit des unbekannten Standards oder Instruments dienen. Bei Abweichungen ist eine Justierung vorzunehmen. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Die für die Bereitstellung und Bezahlung bzw. Anweisung der Bezahlung einer Anlage verantwortliche Organisation. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ansiedlung (Population)

Von lebensfähigen Mikroorganismen auf bzw. in einem Produkt und/ oder einem Sterilbarrieresystem. [DIN EN ISO 11139] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Reduzierung der Anzahl lebensfähiger Mikroorganismen.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Bereich, in dem ein Prozess abläuft und Wechselwirkungen zwischen Prozess und Umgebung stattfinden.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Stelle, an der der Prozess sowie die Wechselwirkung zwischen Prozess und Umgebung stattfindet [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-4; 3.9]

(Quelle:VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Einzelne Partikel, welche aufgrund ihrer physikalischen Eigenschaften (Größe, Form und Material) zum Totalausfall einer Komponente oder ganzer Systeme führen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

“Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

“Einteilung der Partikelreinheit der Luft nach KLassengrenzen [VDI 2083 Blatt 1]; Anmerkung: Die Klassengrenze stellt den Höchstwert der zulässigen Partikelkonzentration für eine bestimmte Partikelgröße dar. [VDI 2083 Blatt 1] (Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Nach ISO 14644-1 muss die Reinheit in einem Reinraum oder reinen Bereich für mindestens einen der folgenden Betriebszustände festgelegt sein:

• Bereitstellung
• as-built: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, ohne Personal und ohne stattfindende Produktion Leerlauf
• at-rest: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, mit laufenden Produktionseinrichtungen, ohne Personal Fertigung
• in-operation: In Betrieb befindlicher Reinraum mit laufender Produktion und arbeitendem Personal.

Die Abnahmemessung nach Fertigstellung eines Reinraumes findet üblicherweise im Betriebszustand as-built statt, bei einer Reinraum(re-)qualifizierung werden die Zustände at-rest und/oder in-operation betrachtet. Zur Anwendung und Methodik der Reinraumklassifizierung ist auch die Richtlinie VDI 2083 zu beachten.

Fehler, der dadurch entsteht, dass sich zur gleichen Zeit mehr als ein Partikel im Messvolumen eines Partikelzählers aufhält. Der Koinzidenzfehler führt zu einer geringen gemessenen Anzahlkonzentration und einem zu großen mittleren Partikeldurchmesser.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die Einheit, in der die Anzahl der anzüchtbaren Mikroorganismen ausgedrückt wird (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Innerhalb eines reinen Bereiches mit Turbulenzströmung befinden sich Zonen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung.

Ein Instrument zur Zählung kleiner luftgetragener Partikel, ca 0,01 μm und größer, durch optische Detektion von Tröpfchen, die sich durch Kondensation von Dampf auf den kleinen Partikeln bilden. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Substanz die in der Lage ist, sich unter Reinraumbedingungen durch Kondensation auf einer Oberfläche abzulagern (siehe ISO 14644-8).

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

Substanz, die die Eigenschaften des Produktes, Prozesses oder Equipments unerwünscht und stark wahrnehmbar chemisch oder physikalisch verändert oder sich schädlich auf Mensch und Umwelt auswirkt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Mit wenigen Ausnahmen umfassen organische Kontaminanten alle Verbindungen, die der Kohlenstoff mit sich selbst und anderen Verbindungen eingeht. Ausnahmen sind beispielsweise Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Schwefelkohlenstoff, Kohlensäure, Karbonate (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Gruppe von Kontaminanten mit ähnlichen chemischen Eigenschaften (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

allgemeine Bezeichnung für eine Gruppe von Verbindungen, die bei Ablagerung auf der fraglichen Oberfläche eine spezifische und ähnlich schädliche Wirkung zeigen

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

Kontamination ist die Verunreinigung der Luft oder einer Oberfläche mit Teilchen.

Stoffe, welche potenziell eine negative Auswirkung auf die Qualität eines Erzeugnisses aufweisen, werden als Kontamination bezeichnet und können chemischer, physikalischer, biologischer oder radiologischer Natur sein. Partikel gehören zu den physikalischen Verunreinigungen und sind einzeln vorliegende Teilchen in festem Zustand. Diese können sich auf Produktionsoberflächen, in der umgebenden Raumluft, in Prozessmedien oder auf dem Produkt befinden.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Sicherstellung einer Umgebung, in der Anzahlkonzentration der Partikel in der Luft der direkten Prozessumgebung kontrolliert oder minimiert wird (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

c ist das Verhältnis von Staubmenge zu Luftmenge (meistens in Verbindung mit Staub- oder Reinluftseite des Filters), z.B. in Teilchen/m³ oder mg/m³.

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Maßnahme zum Beseitigen der Ursache einer Nichtkormität und zum Verhindern des erneuten Auftretens. [DIN EN ISO 9000, 3.12.2] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Reaktion eines metallischen Werkstoffs mit seiner Umgebung, die eine messbare Veränderung des Werkstoffs bewirkt und zu einer Beeinträchtigung der Funktion eines metallischen Bauteils oder eines ganzen Systems führen kann (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Kreuzkontaminationen sind Kontaminationen von Personen oder benachbarter Prozesse, die den zu betrachtenden Prozess negativ beeinflussen. Die Möglichkeit einer Kreuzkontamination ist vor allem in Reinräumen mit turbulenter Mischlüftung gegeben. Bei Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung oder in Minienvironments ist die Gefahr einer Kreuzkontamination geringer, da dort die Kontaminationen gezielt in unkritische Bereiche abgeführt werden.

Im Rahmen der Reinheitsbewertung ermittelte Verunreinigung, die sich negativ auf Patient, Anwender, Produkt oder Prozess auswirken kann. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Offener, beweglicher reiner Arbeitsplatz mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung mit eigenem Umluftventilator.

Lärm im Sinne der Lärm- und Vibrations-Arbeitsschutzverordnung ist jeder Schall im Frequenzbereich zwischen 16 Hz und 16kHz (Hörschall), der zu einer Beeinträchtigung des Hörvermögens oder zu einer sonstigen mittelbaren oder unmittelbaren Gefährdung von Sicherheit und Gesundheit der Beschäftigten führen kann. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Laser Current Sensoor; Laser-Strom-Sensor (Quelle: SEMI E54.10-0600, Specification for sensor/ actuator network specific device model for an in-situ particle monitor device, 2000)

Durch ein Leck tritt an einer Stelle (z.B. Filter, Reinraumdecke,…) unkontrolliert verunreinigte Luft in den reinen Bereich, die mit ihrem Reinheitsgrad die zulässige Teilchenzahl örtlich überschreitet.

Unsere fertigen Produkte werden nach Fertigstellung intern getestet und beispielsweise auf Leckfreiheit überprüft. Weitere Produktionsbedingunegn sind hier zu finden.

Stelle in einem Filterelement, an der der lokale Abscheidegrad einen festgelegten Grenzwert unterschreitet.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Qualitative räumliche Zuordnung von Lecks ohne Bestimmung von Luftdurchlässigkeiten (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Zustand der vollständigen Anlage mit eingebauten und wie zwischen Käufer und Lieferant vereinbart laufenden Produktionseinrichtungen, jedoch ohne Personal. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Die Lichtdurchlässigkeit ist das Verhältnis aus der Größe des Lichtstroms, der durch ein durchscheinbares Material trifft zu dem Lichtstrom, der ihm zugeführt wird. Sie wird in % angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Die für die Lieferung einer Anlage nach Käuferspezifikation verantwortliche Organisation. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Immer häufiger erreicht uns die Nachfrage, ob und wie viel Bor in unseren Produkten enthalten ist. Es wird von LowBoron-Medien gesprochen. Doch was macht Bor eigentlich so gefährlich?

In geringen Mengen ist das Halbmetall Bor nicht gefährlich. Auch in der Nahrung ist es in kleinen Mengen enthalten und kann über die Nieren bei einem gesunden Menschen innerhalb von 3-4 Tagen wieder ausgeschieden werden. Bei einer andauernden Aufnahme von Borverbindungen kann es jedoch zu einer chronischen Vergiftung kommen. Es können Symptome wie Übelkeit und Erbrechen auftreten. Außerdem kann Bor das Zentrale Nervensystem und die Nieren schädigen und die Fruchtbarkeit bei Männern und Frauen beeinträchtigen.

Doch auch auf Produkte kann Bor einen negativen Einfluss haben. Bor in seiner Ursprungsform ist ein festes Halbmetall. In Kombination mit Wärme und Sauerstoff bildet sich das gasförmige Boroxid B₂O_3. Wird dies wiederrum in Wasser gelöst kann sich ätzende Borsäure bilden.

Bor wird bei der Glasherstellung ins Material eingebracht. Somit sind HEPA-Filter eher mit Bor belastet als PTFE-Filter. Filter mit der Bezeichnung LowBoron wurden nur etwas „gelüftet“, so dass das Bor ausgedünstet ist.

Ein minimales Restrisiko liegt dann bei den Dicht-/Klebestoffen. Jedoch haben wir dahingehend noch nie Hinweise erhalten.

Nach dieser Richtlinie gemessener und auf das Containment bezogener Leckluftvolumenstrom (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

(auch Filter-Fan-Unit (FFU)) oder Filter-Fan-Modul (FFM)) Ein Lüfter-Filter-Modul ist eine kompakte Versorgungseinheit für Reinstluft. Diese Module bestehen in den meisten Fällen aus Gehäuse, Filterelement (HEPA- oder ULPA-Filter) und Ventilator. Produktabhängig kann es zu geringfügigen Abweichungen vom Grundaufbau kommen. Ggf. kann ein Lüfter-Filter-Modul mit Vorfilterelementen ausgestattet sein. Diese werden zum Schutz des HEPA/ULPA-Filters vor Grobstaub eingesetzt. In Sonderfällen können diese Vorfilter als chemische Filter ausgelegt sein, um molekulare Verunreinigungen aus der Luft herauszufiltern.

Weitere Informatioen zum Lüfter-Filter-Modul finden Sie hier.

Im Sinne dieser Richtlinie (Gefahrstoffe, belästigende Stoffe) sind alle in der Luft enthaltenen Stoffe, die nicht zu der normalen Luftzusammensetzung gehören. Diese treten als Gase, Dämpfe, Nebel, Rauche und Stäube auf. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Zahlenwert, der den Luftwechsel im reinen Bereich, bezogen auf die Zeiteinheit 1 Stunde angibt.

“Partikel mit einem Äquivalentdurchmesser größer als 5 μm” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Entspricht der Personenschleuse, jedoch den unterschiedlichen Transportbedingungen angepasst.

Mehr zum Aufbau einer reinen Umgebung können Sie hier nachlesen.

Maximal zulässiger Differenzdruck über das Containment, der im laufenden Betrieb einschließlich der Ein-, Aus- und Umschaltvorgänge auftreten darf (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

“Bezeichnung für die gemessene oder festgelegte Konzentration von Makropartikeln je Kubikmeter Luft, angegeben in Form eines Äquivalentdurchmessers, der für das verwendete Messverfahren charakteristisch ist” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Der Messabstand d ist der kleinste Abstand der Messfläche vom Bezugsquader. Der einer Quader-Messfläche ist d der Abstand der parallelen Seitenflächen von Messfläche und Bezugsquader. Bei einer (Halb-)Kugel-Messfläche ist d der kürzeste Abstand der Ecken des Bezugsquaders zur Messfläche. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984) (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Die Messfläche ist eine gedachte Fläche (Hüllfläche), die die Maschine umhüllt, gegebenenfalls an reflektierenden Ebenen endet und auf der die Messpunkte liegen. Der Inhalt der Messfläche (Messflächeninhalt) wird mit S bezeichnet. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Phänomen, das als Grundlage einer Messung dient. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 2.4[1]] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Überprüfung der Eignung eines Messsystems für die vorgesehene Messaufgabe (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Methode zur Bestimmung von Messgrößen (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

direktes Messverfahren: Beurteilung der zu bestimmenden Kontamination ohne jegliche Zwischenschritte

indirektes Messverfahren: Beurteilung der zu bestimmenden Kontamination mit Zwischenschritten

_{(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02/ 2022)}

Ermittlung des integralen Abscheidegrades unter Einsatz ortsfester Probenahmesonden auf der Anströmseite und Abströmseite des Prüffilters

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

<Analytik> formeller und dokumentierter Nachweis, dass eine chemische, physikalische oder biologische Analysemethode für ihren Einsatzzweck geeignet ist und die an sie gestellten Anforderungen erfüllt. [in Anlehnung an DIN EN ISO 90000,3.8.13] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Durch Mikroskopie werden Partikelgröße und -anzahl ermittelt.

Zur Analyse der Partikelgröße und -anzahl auf dem Analysefilter wird ein computergesteuertes System der Firma Jomesa eingesetzt, dass das automatische Auszählen und Vermessen von Partikeln ermöglicht.

Hierdurch werden genaue und reproduzierbare Ergebnisse der Mikroskopie erzielt.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Das Minienvironment ist ein lokaler Reinraum, der die saubere / reine Produktionsumgebung im bzw. unmittelbar um eine Maschine herum realisiert. Der Begriff ist im Halbleiterstandard von SEMI definiert. Er ist beschrieben als „a localised environment created by an enclosure to isolate the product from contamination and people” (SEMI E44-95 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments). Die für viele Prozesse in Hochtechnologiebereichen heutzutage notwendige Reinheit kann meist nur in Minienvironment realisiert werden, da man dadurch einen optimalen Schutz vor Kreuzkontaminationen erhält. Zusätzlich erreicht man bei einer konsequenten Einhaltung der technologischen Prozesse innerhalb der Minienvironments und Gestaltung der Schnittstellen zwischen diesen (Produktübergabe), dass die Bedingungen des umgebenden Raumes (Reinraum) nicht den hohen Ansprüchen der Prozesse mehr genügen muss, sondern eine geringere Luftreinheitsklasse ausreichend ist. Dies macht sich vordergründig bei den laufenden Kosten einer Fertigung im Reinraum bemerkbar.

Weitere Informationen zum Thema finden Sie hier.

Ein Minienvironment ist ein geschlossener Bereich mit Filtereinheiten und Überdruck, so dass in diesem Bereich je nach verwendetem Filter eine ISO-Klasse garantiert werden kann.

Most penetrating particle size; am meisten durchdringende Partikelgröße (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Median Noise Sensor; mittlerer Lärmsensor (Quelle: SEMI E54.10-0600, Specification for sensor/ actuator network specific device model for an in-situ particle monitor device, 2000)

“Unmittelbare systematische Erfassung, Beobachtung und Überwachung von Messgrößen mit den Kernfunktionen

• Datenerfassung,
• Vergleich mit den Vorgabewerten, gegebenenfalls Alarmierung,
• Darstellung/ Visualisierung und
• Datenspeicherung/Datenarchivierung.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Ein Aerosol wird als monodispers bezeichnet, wenn die Breite seiner Verteilungsdichtefunktion, beschrieben durch die geometrische Standardabweichung, kleiner ist als σ_g=1,15.

Aerosole, deren Verteilung eine geometrische Standardabweichung zwischen σ_g=1,15 und σ_g=1,5 aufweist, werden als quasi monodispers bezeichnet.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikel, dessen drei äußere Abmessungen nanoskalig sind. (Quelle: VDI 2083, Blatt 1.1, Düsseldorf 2021)

Eigenschaft eines Partikels, im Größenbereich von 1 nm bis 100 nm zu liegen. (Quelle: VDI 2083, Blatt 1., Düsseldorf 2021)

Noise criteria; Lärmkriterium (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Bei Nebeln handelt es sich um feine und feinste Flüssigkeitstropfen. Nebel tritt nur in für den jeweiligen Stoff charakteristischen engen Temperatur- und Druckbereichen auf; neben der Flüssigphase liegt gleichzeitig die Dampfphase vor. Nebel entstehen auch durch rein mechanische Vorgänge, z.B. durch Zerplatzen von Flüssigkeitstropfen. Die Partikelgröße hängt ab vom Entstehungsprozess; durch Kondensation entstandene Nebeltröpfchen sind meist kleiner als die durch mechanische Vorgänge entstandenen. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Druckdifferenz in N/m² bei spezifischem Nenn-Volumenstrom des nicht vorbeladenen filternden Materials. (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

Volumenstrom, für den ein zu prüfendes Filterelement festgelegt ist

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Der Nennwert der Enddurckddifferenz ist die größte betriebliche Druckdifferenz des Prüflings, nach den Empfehlungen des Herstellers bei Nennvolumenstrom. 

Sie wird in Pa angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Abweichung von oder Nichterfüllung einer Anforderung. [in Anlehnung an DIN EN ISO 9000, 3.6.9] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Flüssige oder pastöse, filmartige Verunreinigung, die den Prozess, das Produkt, das Personal oder die Einrichtungen beeinflussen können. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Einsatzbereit und in Betrieb ohne laufende Fertigung (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Als Nullzählrate bezeichnet man die Anzahl der Zählereignisse je Zeiteinheit, die ein Partikelzähler anzeigt, wenn durch das Messvolumen partikelfreie Luft gesaugt wird. Ursachen für solche Zählergebnisse können Partikelquellen im internen Luftführungssystem, elektronischen Rauschen, ionisierende Strahlung oder Unstetigkeiten in der Versorgungsspannung sein.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die obere Betriebsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz, bei der die Erneuerung des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium, die über Druck gesteuert werden, in Gang gesetzt wird. 

Sie wird in Pa angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Die obere Grenze bei der Bestimmung des Mittelwertes, so berechnet, dass in einem gegebenen Prozentsatz von Fällen (hier 95%) die obere Grenze der Bestimmung über dem wahren Mittelwert liegen würde, wenn die Mittelwerte aus einer Probenahme nach Gauss’scher (“Normal”-) Verteilung resultirene würden. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

“Oberflächen im Sinne der vorliegenden Richtlinie sind alle Flächen die

• dem reinen Bereich zugewandt sind,
• sich im reinen Bereich befinden und/oder
• mit dem hergestellten Produkt in Berührung kommen.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3 Oberflächen)

Abgrenzung zwischen zwei Phasen

Anmerkung 1 zum Begriff: Eine der Phasen ist gewöhnlich eine Festphase und die andere ein Gas, eine Flüssigkeit oder ein anderer Feststoff.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

feste Oberfläche: Grenzfläche zwischen der festen und einer zweiten Phase _{(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02/ 2022)}

Eigenschaften, die im Hinblick auf die Oberflächenreinheit von Bedeutung sind (z.B. Rauheit, Ableitfähigkeit, Reinigbarkeit, Zugänglichkeit, Welligkeit) (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

feste und / oder flüssige Materie, die an einer betrachteten Oberfläche haftet und diskontinuierlich über diese verteilt ist, mit der Ausnahme filmartiger Materie, die die gesame Oberfläche bedeckt.

Anmerkung 1 zum Begriff: Die Haftung der Partikel an der Oberfläche erfolgt durch chemische und / oder physikalische Wechselwirkungen.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02 / 2022)

“Oberflächenreinheit im Sinne der vorliegenden Richtlinie ist die Abwesenheit von partikulären Verunreinigungen, die den Prozess, das Produkt, das Personal oder die Einrichtungen beeinträchtigen können.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3.1 Oberflächenreinheit (partikulär))

eng.: SCP – surface cleanliness by particle concentration

der Zustand einer Oberfläche mit Bezug auf deren Partikelkonzentration

Anmerkung 1 zum Begriff: Die Oberflächenreinheit ist neben weiteren Faktoren von den Material- und Gestaltungskenngrößen, Beanspruchungslasten (Komplexität der auf die Oberfläche wirkenden Lasten) und vorherschenden Umgebungsbedingungen abhängig.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02 / 2022)

“Anzahl von Einzelpartikeln auf einer Bezugsfläche von 1 cm², bezogen auf einen Referenzpartikeldurchmesser von 1 µm, in einem dekadischen Bewertungssystem.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3.2 Oberflächenreinheitsklasse (partikulär))

elektrischer Widerstand, gemessen zwischen zwei Elektroden an einer Oberfläche (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

OEL-Werte (Occupational Exposure Limits) sind arbeitsschutzbezogene Grenzwerte für Gefahrstoffe in der Atemluft (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

Original equipment manufacturer; originaler Geräthersteller (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

“Messverfahren, bei dem Messdaten in zeitlichem Abstand von der Erfassung von Zeit zu Zeit an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

“Messverfahren, bei dem Messdaten direkt, nahezu zeitgleich mit der Erfassung, an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Airborne optical particle counter; optischer Partikelluftzähler (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Ein auf Streulicht-Prinzip basierendes Instrument mit Anzeige und/ oder Aufzeichnungseinrichtung zur Zählung und Größenbestimmung einzelner Partikel in der Luft. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Ototoxische Substanzen sind Stoffe, die bei entsprechenden Konzentrationen das Gehör schädigen können. Mögliche Wechsel- und Kombinationswirkungen zwischen Lärm und arbeitsbedingten ototoxischen Substanzen müssen bei Gefährdungsbeurteilung für Tätigkeiten mit gleichzeitiger Belastung durch Lärm und arbeitsbedingte ototoxische Substanzen berücksichtigt werden, soweit dies technisch durchführbar ist. Die Frage der technischen Durchführbarkeit bedeutet z.B., ob arbeitsbedingte ototoxische Substanzen substituiert werden können. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

P ist das Verhältnis des Volumens aller Körper, die die Abscheideoberfläche bilden (häufig einer Vielzahl von Fasern), zum Gesamtvolumen des Filters:

P = l – α

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

„kleines Teil Materie mit physikalisch definierten Abgrenzungen” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Ein festes oder flüssiges Objekt, in der Regel zwischen 0,001 und 1.000 µm groß. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Maß, das die Abscheidung bei bestimmten Staubkörngrößen angibt. Die Größe wird mittels Partikelzähler bestimmt, wobei vor und nach dem Prüfling Partikel einheitlicher Größe gezählt und verglichen werden. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Medianwert der Anzahldichteverteilung des Prüfaerosols.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Quantitative Beschreibung der von einem Werkstoff unter bestimmter Belastung ausgehenden Partikelemission (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

“Durchmesser einer Kugel, der mit Hilfe einer Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgröße gemessen werden kann, deren Messgröße in vergleichbarem Zusammenhang mit der Messgröße des Partikels steht” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Geometrischer Durchmesser der Partikel des Prüfaerosols.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die auftretenden maximalen linearen Ausdehnungen des Partiekls in der Betrachtungsebne, wie sie mit einem optischen Mikroskop festgestellt werden, oder der entsprechende Durchmesser eines Partikels, bestimmt mit Hilfe eines automatisch arbeitenden Instruments. Der entsprechende Äquivalenz-Durchmesser ist der Durchmesser einer Referenzkugel mit bekannten Eigenschaften, die im Meßinstrument dieselbe Reaktion hervorruft wie das zu messende Partikel. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

“Summenhäufigkeitsverteilung der Partikelkonzentration, dargestellt als Funktion der Partikelgröße” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

kummulative Verteilung der Partikelkonzentration als eine Funktion der Partikelgröße [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-1, 3.2.4] (Quelle: VDI 2083: Blatt 1.1: 2021-01 Düsseldorf)

“Anzahl der einzelnen Partikel je Volumeneinheit Luft” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Die Anzahl von Einzelpartikeln pro Luftvolumeneinheit. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Anzahl einzelner Partikel je Flächeneinheit der betrachteten Oberfläche (Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02 / 2022)

Anzahl der je Zeiteinheit von einem Aerosolgenerator erzeugten Partikel

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die Reinheit der Luft muss durch die Angabe der maximal zulässigen Anzahl luftgetragener Partikel klassifiziert werden. Die Klassifizierung ist in der ISO 14644-1 und der VDI 2083-1 beschrieben. Die Partikelreinheitsklassen der Luft werden durch Messung der Partikelkonzentration ermittelt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft gilt als erreicht, wenn die gemessene Partikelkonzentration in jeder vorab festgelegten Partikelgröße die Grenzkonzentration einhält. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

• As built – Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
• At rest – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
• In operation – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb

Mehr zum Thema Partikelreinheitsklasse der Luft können Sie hier nachlesen.

Anzahl an Partikeln, die je Zeiteinheit gemessen oder durch einen bestimmten Querschnitt transportiert werden. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Örtliche Verteilung des Partikelstroms in einer Ebene senkrecht zur Strömungsrichtung. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Vorfilter zur Abscheidung von Partikeln werden in Grobstaubfilter und Feinstaubfilter unterteilt. Die Grobstaubfilter werden in die Klasse G1 bis G4 eingeteilt, die Feinstaubfilter in die Klassen F5 bis F9. Im Aufbau unterscheiden sich diese in Filtermatten, Taschenfilter, Kompaktfilter u.a.. Ggf. können auch HEPA- oder ULPA-Filter als Vorfilterelemente eingesetzt werden. Die HEPA-Filter werden in die Klasse H10 bis H14 und die ULPA-Filter in die Klasse U15 bis U17 eingeteilt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

• As built: Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
• At rest: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
• In operation: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb

Teilchen, die den Prozess, das Personal oder die Einrichtungen beeinflussen können (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln -ohne Größenklassifizierung- in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers)

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch deren Größenverteilung ermöglichen (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers)

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

das Wort Pass-Box (oder auch Pass-thru-box) ist ein anderer Begriff für eine Materialschleuse

Mini-Environment, das durch eine Einhausung oder Umschließung das Produkt schützt, indem es von der Umgebung abtrennt (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Mehr zum Thema Minienvironment finden Sie hier.

Abkürzung für Polyethylen (“HD” steht für “high density”)

Abkürzung für Polyethylen (“LD” steht für “low density”)

Die Durchdringung des Filtermediums wird als Penetration bezeichnet und ist das Verhältnis der Partikelkonzentration, welche das Filtermedium verlässt zur Partikelkonzentration, welche in das Filtermedium eindringt. Sie wird in Prozent ausgedrückt und basiert auf speziellen Partikelgrößen.

Abgegrenzter reiner Bereich mit wechselseitig verriegelbaren Türen und eventuell eingebauten Luftduschen. Sie dienen dem Druckausgleich und Übergang in reine Bereiche unterschiedlicher Reinheitsklassen.

Perfluoralkoxylalkan.; PFA ist ein hoch fluorhaltiger Kunststoff. Es ist eine Weiterentwicklung des verbreiteten Sinterwerkstoffes PTFE

Eine der vier Möglichkeiten der Einzelscheibenhandhabung von Wafern ist das Pick & Place. Die Scheibe wird von einem speziellen Greifmechanismus gehalten. Entsprechend der Kinematik des Systems bewegt es sich entlang einer kontanten Raumkurve. Die Be- und Entladepunkte sind in der Regel fest vorgegeben. Dieses System lässt sich platzsparend der Fertigungsanlage anpassen, und die Scheibe wird während der Bewegung definiert gehalten.

[Jürgen Geißinger, Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme, Springer-Verlag 1989]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Erarbeitung eines Konzepts und Erstellung aller für die Beschaffung einer Anlage erforderlichen Zeichnungen und Spezifikationen. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Purchase Order; Bestellung/ Auftrag (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

point of connection; der Punkt, an dem das Äußere mit dem Inneren verbunden ist (Quelle: SEMI F42-0600, test method for semiconductor processing equipment voltage sag immunity, 1999)

Eine Box, die eine Standard-Mechanical-Interface (SMIF) besitzt. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Informationsträger, der auf einer Pod montiert ist. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Ein Aerosol wird als polydispers bezeichnet, wenn seine Verteilungsdichtefunktion eine geometrische Standardabweichung von σ_g>1,5 aufweist.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

α ist das Verhältnis von Porenvolumen zum Gesamtvolumen eines Filters.

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Das Positionieren ist das Bewegen eines Körpers aus einer unbestimmten in eine vorgegebene Position. Die Orientierung des Körpers bleibt dabei außer Betracht. Die Funktion Positionieren lässt sich durch Angabe des Ist- und Sollpositionierungsgrades quantifizieren. [VDI 2860, Montage- und handhabungstechnik Handhabungsfunktionen, Handhabungseinrichtungen, Begriffe, Definition, Symbole, VDI-Richtlinien, Mai 1990]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Im Rahmen der Risikobetrachtung ermittelte Verunreinigung, die im Herstellungsprozess auf das Medizinprodukt gelangen kann oder potenziell auf den Ausgangsmaterialien vorhanden ist. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Bereich, innerhalb dessen festgelegte Parameter eingehalten werden müssen (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Die Präzision des Verfahrens ist die qualitative Bezeichnung für das Ausmaß der Übereinstimmung zwischen Ergebnissen, wie sie bei wiederholter Anwendung eines festgelegten Ermittlungsverfahrens gewonnen werden. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Qualitative und quantitative Überprüfung der spezifizierten Parameter und/ oder Abnahmekriterien eines Mini-Environments beim Auftragnehmer nach Herstellung (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Passives oder aktives Erfassen oder Aufnehmen der repräsentativen Teilmenge aus einer Gesamtheit einer Biokontamination (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Zeitraum in dem anströmseitig und abströmseitig die Partikel im Probenahmevolumenstrom gezählt werden (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Anteil des anströmseitigen oder abströmseitigen Volumenstroms, der der Messzelle zur Ermittlung der anströmseitigen bzw. abströmseitigen Partikelanzahl zugeleitet wird. Bei Partikelzählern, die nur einen Teilstrom des der Messzelle zugeleiteten Volumenstroms analysieren, wird dieser analysierte Anteil als Probenahmevolumenstrom bezeichnet. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Volumenstrom, der der Messzelle des Partikelzählers zur Ermittlung der anströmseitigen bzw. abströmseitigen Partikelanzahl zugeleitet wird (Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

geometrische dreidimensionale Ausdehnung des Volumens, in dem ein Produkt gehandhabt wird (Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Prüfaerosole werden in der Reinraumtechnik zur Kalibrierung von Partikelzählern und zur Prüfung der Filter eingesetzt. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Klassifizierung der Filter anhand ihrer Filtereffektivität gegenüber diesen Partikelgrößen mittels DEHS-Prüfaerosol (Di-2-Ethylhexyl-Sebacat)

Substanz mit oder ohne Mikroorganismen, die zur Bestimmung des Reinigungs- oder Desinfektionserfolgs verwendet wird(Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

bei der Prüfung eingestellter Druck (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

bei einem Acceptancetests unterscheidet die Norm 3 verschiedene Ergebnisse:

P – Pass (bestanden – Spezifikation eingehalten)

F – Fehler (Spezifikation nicht eingehalten, aber tolerierbar)

K – Killer (Spezifikation nicht eingehalten, nicht tolerierbar)

(Quelle: VDI 2083-16.2)

Ein Prüfling ist ein Luftfilter, das in der Raumlufttechnik zum Abscheiden von Staubteilchen verwendet wird und das nach dieser Norm geprüft wird. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Anzahl der in einer Reinheitsbestimmung gemeinsam analysierten Punkte. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Die Prüfluft ist die Außenluft mit den zur Zeit des Versuches in der Beruhigungskammer vorhandenen Eigenschaften: Temperatur, Druck und Gehalt an atmosphärischem Staub, die relative Luftfeuchte in den Grenzen, wie in Abschnitt 5.2 beschrieben, Bei der Bestimmung des Abscheidegrades gegenüber synthetischem Staub darf als Prüfluft auch Raumluft benutzt werden. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

“Auflösung

kleinste Änderung in einer gemessenen Größe, die zu einer wahrnehmbaren Veränderung der entsprechenden Anzeige führt

• maximal zulässige Messabweichung

maximal zulässige Fehlergrenze

Extremwert des Messabweichung in Bezug auf einen bekannten Referenzgrößenwert, der durch Spezifikationen oder Vorschriften für die jeweilige Messung, das gegebene Messgerät oder Messsystem zulässig ist”

(Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Gesamtprozess von den Probenahmen bis zur Interpretation der Ergebnisse und Dokumentation (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Festgelegte technische Verfahrensweise für die Durchführung einer Prüfung oder Kalibrierung auf der Grundlage eines Messprinzips. [DakkS 71 SD 0 002] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Particles per wafer pass; Partikelanzahl pro Halbleiter-Durchlauf (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Arbeitsablauf nach einem definierten Verfahren, der zur Bestimmung und/ oder Überprüfung der Leistung einer Reinraumanlage oder eines Teils derselben dient.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Feststellen, inwieweit eine Einheit eine Qualitätsanforderung erfüllt [DIN 55350-17] (Quelle: VDI 2083, Blatt 1., Düsseldorf 2021)

Prüfverfahren, das Informationen zur Identifizierung des Bestandteile oder der Zusammensetzung von Stoffen sowie Stoffegemsichen liefert, ohne einen Aufschluss über Mengenverhältnisse zu geben. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Prüfverfahren, das Informationen über die Menge eines zu bestimmenden Stoffs liefert. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Sind feste Schwebstoffe; sie entstehen überwiegend bei thermischen Prozessen. Charakteristische Beispiele hierfür sind die sog. metallurgischen Rauche. Die Partikelgrößen von Rauchen sind meist sehr klein und liegen teilweise deutlich unter 1 μm. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Zu prüfendes System; Beispiel Reinraum, Isolator (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Durch Stufung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) sind für das Gesundheitswesen der DDR  Raumgruppen festgelegt (I, II, III, IV)

Ist die Zufuhr von Luft in einen Raum zum Verdrängen oder Verdünnen luftfremder Stoffe und zur Aufrechterhaltung eines bestimmten Raumklimas. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Zusammenfassender Begriff für Klima-Luft- und Filtertechnik

Überprüfung oder Kontrolle der bei der Acceptance protokollierten Ergebnisse (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

“(Betrieb im regulierten Umfeld)

Betrieb einer Anlage innerhalb gesetzlicher Vorgaben.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Verlust an mechanischer Energie bei Ablauf, Beginn oder Ende einer Relativbewegung sich berührender Stoffbereiche (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Arbeitsplatz mit erhöhtem Reinheitsgrad, der durch Zufuhr eines gefilterten turbulenzarmen Luftstromes charakterisiert wird, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht.

Mehr zum Thema Reinluft-Arbeitsplatz finden Sie hier.

Ein zugeordneter Bereich, in dem die Anzahlkonzentration luftgetragener Partikel kontrolliert wird. Anmerkung: Dieser Bereich kan offen oder eingeschlossen sein und seinerseits in einem Reinraum liegen. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ein definierter Bereich, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel innerhalb festgelegter Grenzen überwacht wird. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Ein reiner Bereich ist ein abgegrenzter Bereich mit einem Reinheitsgrad der Luft, der die höchstzulässige Teilchenzahl der Reinheitsklasse 10^5 (nach nicht mehr anwendbarem Federal Standard 209 E) nicht überschreitet.

In Abhängigkeit der Anforderungen besitzt er eine Temperatur-, Luftfeuchte-, Differenzdruck- und Luftgeschwindigkeitsregelung.

Raum mit einem gegenüber dem Umgebungsmedium erhöhtem Reinheitsgrad, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht und der bei Notwendigkeit mit einer Apparatur für die Regelung der Temperatur, der Feuchtigkeit des Luftdruckes und der Geschwindigkeit des Luftstromes ausgerüstet ist.

Zustand eines Produktes, eines Oberfläche, eines Gerätes, Gases, Fluids uws. mit einem festgelegten Grad partikulärer und/ oder nicht-partikulärer Verunreinigungen. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Der Reinheitsgrad der Luft ist die vorhandene Verunreinigung, gemessen in Teilchenkonzentration und/oder Anzahl der koloniebildenden Einheiten (Mikroorganismen). Die in der Luft befindlichen Mikroorganismen stellen Teilchen dar, die in der Teilchenzählung eingeschlossen sind.

Unter Reinheitskette werden die Gesamtheit aller erforderlichen Bedingungen und Maßnahmen und ihre wechselseitigen Beeinflussung verstanden.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 11, Januar 2008)

Durch Stufung des Reinheitsgrades nach der Teilchenkonzentration sind für die Technik Reinheitsklassen festgelegt.

Mehr zum Thema finden Sie hier.

Die statisch zulässige Partikelzahl bei einer Größe von größer gleich 0,5 µm pro Kubikfuß (cft) Luft (1cft = 28,3 l) (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Durch Einteilung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) und der Teilchenkonzentration sind für die Pharmazie der DDR Reinheitsstufen festgelegt.

Die Reinheitstauglichkeit beurteilt Betriebsmittel oder reinlufttechnische Komponenten hinsichtlich des Einsatzes in Reinräumen. Sie beschreibt das Aufkommen oder Vorhandensein der am Betriebsmittel oder an der raumlufttechnischen Komponente bestehenden oder generierten Verunreinigungen. Die Reinheitstauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf das Produkt, welches im oder mit dem Betriebsmittel bearbeitet wird.

Mehr zum Thema finden sie hier.

Kriterium zur Beurteilung von Betriebsmitteln oder raumlufttechnische Komponenten hinsichtlich des Einsatzes in Reinräumen

Anmerkung: Die Reinheitstauglichkeit beschreibt das Aufkommen oder Vorhandensein der am Betriebsmittel oder an der raumlufttechnischen Komponente bestehenden oder generierten Verunreinigung.

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Weitere Erläuterungen zum Thema können Sie auch im Blog nachlesen.

Gebäude mit Reinraumbereichen sind in die Reinheitszonen

• Schwarzzone
• Grauzone
• Reinzone (Weißbereich)

zu gliedern.

Reinzonen erfordern vorgeschaltete Grau- und Schwarzzonen; Grauzonen erfordern vorgeschaltete Schwarzzonen. Eine weitere Untergliederung dieser Zonen ist je nach Anforderung zulässig.

Entfernung von Verschmutzungen in einem Bereich oder von einem Gegenstand in dem für die weitere Behandlung und vorgesehene Verwendung erforderlichen Umfang (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Mehr zum Thema Reinigung finden hier.

Verminderung einer Verunreinigung, wie etwa einer biologischen, organischen/ anorganischen Verunreinigung durch ein Verfahren, das auf die zu behandelnden Oberflächen abgestimmt ist, unter Berücksichtigung der chemischen und mechanischen Wirkung sowie der Temperatur und Behandlungsdauer (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Mehr zum Thema Reinigung unter reinen Bedingungen erfahren Sie hier.

„Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel geregelt wird, der so konstruiert und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden.” [ISO 14644-1:1999, 2.1.1]

Mehr zum Thema Reinraum finden Sie hier.

“Ein Reinraum, in dem die Anzahlkonzentration luftgetragener Partikel kontrolliert wird, der auf die Minimierung der Anzahl der in den eingeschleppten bzw. im Reinraum entstehenden und abgelagerten Partikel hin konstruiert und betrieben wird, und in dem diejenigen Parameter, die für den Reinstprozeß relevant sind,w ie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedraf kontrolliert werden. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel innerhalb festgelegter Grenzen überwacht wird. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Ein vollständiger Reinraum mit Fertigungsgeräten, installiert und in Betrieb, aber ohne Personal. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Kleines Gerät, mit individueller Zufuhr von gefilterter Luft oder Gas, das in einem anderen Reinen Bereich aufgestellt werden kann. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ein Reinraum in normalem Betrieb, mit allen Anschlüssen und Funktionseinheiten sowie mit Fertigungsgeräten und Personal, die im Reinraum ihre normale Arbeit verrichten. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Ein vollständiger und betriebsbereiter Reinraum, ausgestattet mit allen Anschlüssen und Funktionseinheiten (funktionsbereit), aber ohne Fertigungsgeräte und Personal. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Reinraum oder ein oder mehrere reine(r) Bereich(e) zusammen mit allen zugehörigen Bauten, Luftaufbereitungssystemen, Anschlüssen und Betriebsmedien (ISO 14644-1:1999,2.1.3).

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Bereichseinheit mit der Grundrissgröße 2400 mm x 6000 mm

Gebäude mit Reinraumbereichen und Reinheitszonen.

Eine Reinraumkabine ist ein lokaler Reinraumbereich, der örtlich veränderbar ist (Rollen, einfaches Verschieben), aus einer Rahmenkonstruktion besteht und Wandflächen aus festen Elementen (Hardwall – Glas, Kunststoff, Blech u.a.) oder Folien (Softwall – flächig und/oder in Streifen) besitzt. Die Reinstluftversorgung erfolgt über Lüfter-Filter-Module.

Der Begriff Reinraumklasse ist ein veralteter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierung von Reinraumbereichen in ISO-Klassen (siehe ISO 14644-1). Der Begriff Reinraumklasse ist schon dadurch irreführend, da man einen Reinraum nicht nach dem Raum an sich, sondern nur nach der Reinheit der Luft in diesem klassifizieren kann. Die Reinheit des Raumes wird indirekt über die Reinheit der Luft in diesem Raum beschrieben.

Kriterium zur Beurteilung der Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind.

Anmerkung 1: Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

Anmerkung 2: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Weiterführende Informationen können Sie im Whitepaper “Reinraumtauglichkeit als Qualitätsparameter” nachlesen.

Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x 6000 mm

Kleinste Bereichseinheit mit der Grundrissgröße 1200 mm x 2400 mm

Das Reinraumprotokoll beinhaltet alle Maßnahmen während der Realisierung eines Reinraumprojekts zur Aufrechterhaltung einer definierten Reinheit in der jeweiligen Bauphase, wie Reinraumkleidung, Verhalten, Personal- und Materialeinbringung, Reinigung und reine Montage.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Das Reinraumregime ist die vorgegebene und überwachte Ordnung und Verhaltensweise des Personals auf dem Weg zum und vom reinen Bereich, in reinen Bereich, im Umgang mit der Prozesskette.

Bestandteil des Reinraumregimes ist die Überwachung der Anforderungen an den Reinraumbereich (z.B. Reinheitsklasse, Temperatur, Luftfeuchte, Druck).

Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x n (6000 mm).

Wandseite im Bereich der höheren Reinheitsklasse.

Bauwerksabhängiger Bereich der Grundrissgröße 6000 mm x 6000 mm

Die Reinraumtauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf den Reinraum und beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind. Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt. Anmerkung: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

Durchführung der Qualifizierungsaktivitäten nach festgelegten Zeitabständen oder nach wesentlichen Änderungen in den Prozessen oder Teilsystemen.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 5.1, Düsseldorf 2007)

Mehr zur Messung und Requalifizierung finden Sie hier.

Restschmutzpartikel, oder kurz Restschmutz, sind Partikelrückstände auf Komponenten im Automobil, welche deren korrekte Funktion oder die des Systems, in welche die Komponente verbaut ist, beeinträchtigen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Wahrscheinlichkeit des Auftretens einer Gefährdung, die einen Schaden hervorruft, und der Schweregrad dieses Schadens (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Arbeitsbereich des RR-Roboters; keine Belegung durch EM und andere Baugruppen (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Der Begriff Sauberraum wird für räumlich abgetrennte Bereiche verwendet, die von ihrer Luftreinheit besser als die umgebenden Bereiche sind, jedoch nicht zwingend Reinraumqualität aufweisen müssen und nicht in die gängigen Partikelreinheitsklassen der Luft nach ISO 14644-1 bzw. VDI 2083-1 eingeordnet werden. Auf Grund der konsequenten Umsetzung des metrischen Maßsystems und der Ablösung des US-Federal-Standards 209E durch die ISO 14644-1 kann man ggf. den Sauberraum mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft von ISO 9 oder ISO 8 beschreiben. Viel wichtiger als diese Klassifizierung über Partikelkonzentrationen in der Luft ist es aber, den Sauberraum für den jeweiligen Einsatzfall zu definieren und Aktionen festzulegen, die diesen als den ursprünglich gedachten Sauberraum erhalten.

Der Aufbau des Sauberraummoduls entspricht im Wesentlichen dem des Lüfter-Filter-Moduls. Im Unterschied zu diesem wird kein HEPA- oder ULPA-Filter sondern ein hochwertiges Feinfilterelement eingesetzt. Dadurch erreicht man eine für viele Prozesse ausreichende Luftfiltration bei einem sehr hohem Volumenstrom.

Substanz, deren chemische Reaktion dadurch gekennzeichnet ist, dass sie durch die Aufnahme von Elektronenpaaren neue Bindungen bildet (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Das Schallspektrum beschreibt die Pegelverteilung innerhalb des interessierenden Frequenzbereiches. Das Schallspektrum umfasst die Schallleistungspegel (oder die Schalldruckpegel z.B. am Messpunkt für den Arbeitsplatz oder am lautesten Messpunkt oder als Mittelwert über die Messfläche) in aneinander anschließenden Frequenzbändern, z.B. in Oktav-, Terz- oder Schmalbändern. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

siehe Sit-Over-Bank

Der Schutzfaktor ist das Verhältnis von Emission zur Immission für die jeweilige Schutzart (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

veralterter Begriff aus der Reinraumtechnik, Arbeitsbereich ohne Beschränkung der Partikelkonzentration (Außenbereich)

Arbeitsbereich ohne Beschränkung der Partikelkonzentration (Außenatmosphäre) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Geeignetes Behältnis (z.B. Petrischale) angemessener Größe mit einem geeigneten, sterilen Nährmedium, das für eine bestimmte Zeit offen stehen gelassen wird, um lebensfähige Partikel aus der Luft zu sammeln (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Teil der zur Qualitätslenkung erforderlichen Qualitätsprüfung, der vom Bearbeiter selbst ausgeführt wird [DIN 55350-17]
(Quelle: VDI 2083, Blatt 11, Januar 2008)

Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM,

• zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;
• für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;
• für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüsse

(Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Stray Light Sensor; streuender Lichtsensor/ Sensor für streuendes Licht (Quelle: SEMI E54.10-0600, Specification for sensor/ actuator network specific device model for an in-situ particle monitor device, 2000)

Standard mechanical interface; Mechanische Schnittstelle (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Mini-Environment mit einem standardisierten Interface (Öffnungs- und Anschlussmechanismus) zum automatischen Öffnen durch eine Maschine ohne menschlichen Eingriff (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Im Gegensatz zur Hardwall-Kabine ist die Softwall-Kabine ein Reinraum mit flexiblen, nicht festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Reinraumvorhängen und -streifenvorhängen bestehen. Die feste und modular aufgebaute Decke mit integrierten Lüfter-Filter-Modulen wird durch Stützen getragen.

Mehr zum Thema Softwallkabine finden Sie hier.

Vom Hersteller empfohlener Volumenstrom je Flächeneinheit in m³/m² *h  (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

Volumenstrom in m³/m² *h , der erforderlich ist, um eine Druckdifferenz am filternden Material von 100 N/m² und von 200 N/m² zu erreichen. Die Prüfung wird in Anlehnung an DIN 53129 Teil 2 durchgeführt. (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

Prüfverfahren, das einen Analyten erfasst, ohne dass andere Bestandteile in der Probe das Analyseergebnis beeinflussen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

auch Übersteigbank, Schleusenbank. Ausstattung von Personenschleusen; dient dem Wechsel der Kleidung und zur Abgrenzung von Bereichen mit unterschiedlicher Kleiderordnung. Des Weiteren stellt die Bank eine Barriere für die Bodenkontamination dar.

S ist die Zeit, meistens in Betriebsstunden, von der Inbetriebnahme eines Filters bis zu seiner „Erschöpfung“ (d.h. bis zum Auftreten von Staubdurchbrüchen oder bis zur Erreichung eines bestimmten oberen Grenzwertes Δ _Ps vom Druckabfall oder auch bis zur völligen Verstopfung). Zur Ermittlung der Standzeit aus V_S kann die folgende Beziehung benutzt werden, wobei die Problematik der Übertragbarkeit von Prüfstandsmessungen auf die Bedingungen der Praxis unberücksichtigt bleibt:

S= Vs / (3,6 v_L  c_1  ε )

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Triboelektrische Aufladung

Elektrische Aufladung, die durch Reibung oder durch Trennung von zwei Oberflächen erzeugt wird (siehe EN 61340-5-1 und EN 61340-5-2).

Induktionsaufladung

Durch bewegte stromdurchflossene Leiter in einem statischen Magnetfeld oder durch eine zeitliche Veränderung eines Magnetfeldes (B-Feld) bei einem zeitlich und räumlich konstanten Stromfluss findet Induktion statt, die zur Ausbildung von Oberflächenpotenzialen führen kann.

Elektrostatische Ableitung

Schnelle, spontane Übertragung von elektrostatischen Ladungen, induziert durch ein elektrostatisches Feld (SEMI E78-998).

(Quelle: VDI 2083 Blatt 9.1, Dezember 2006)

Mit Staub bezeichnet man ein Kollektiv von festen Partikeln, die in einem Gas verteilt sind. Stäube unterteilt man nach ihrer Herkunft und Entstehung in natürliche und technische Stäube. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, Der Begriff Staubklasse ist ein veraltereter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierungvon Reinraumbereichen in ISO-Klassen.

Die Staubspeicherfähigkeit ist das Produkt aus der Masse des auf Wegwerfluftfiltern oder Luftfiltern ohne selbsttätige Erneuerung des Filtermediums aufgegebenen synthetischen Staub bis zum Eintreten einer begrenzten Bedingung.

Sie wird in g angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Die Staubspeicherfähigkeit je Flächeneinheit ist das Produkt aus der Masse des synthetischen Staubes, die je Flächeneinheit auf das Filtermedium von Luftfiltern mit selbsttätiger Erneuerung des Filtermediums je Flächeneinheit aufgenommen werden kann und dem mittleren Abscheidegrad des Prüflings gegenüber synthetischem Staub, wenn der Prüfling im Gleichgewichtszustand arbeitet.

Sie wird in g/m² angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

V_S ist die Menge des innerhalb der Standzeit eingelagerten Staubes, bei Querschnittsfiltern meistens in cm³/m² Filterfläche angegeben, aber auch als Staubspeichermasse in g/m² üblich.

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Prozess zur Inaktivierung aller Mikroorganismen und aller relevanten mikrobiellen Sporen (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Ist ein Gerät, das einzelne luftgetragene Partikel zu zählen und deren Größe bestimmt und Größendaten als optische Äquivalentdurchmesser ausgibt. (Quelle: DIN EN ISO 14644-1, 2016)

Die Verteilung:

t= (Partikelmenge Mittelwert – Probenmittelwert) / Standarfehler

aus einer Probenahme mit Gauss’scher (“Normal”-) Verteilung (die Tabellen können entsprechenden Texten zur Statistik entnommen werden). (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Zusammenfassung einer oder mehrerer Stoffgruppen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Auf der Oberfläche eines Werkstoffs vorhandene molekulare Ablagerungen, die sich schädlich auf den Menschen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment auswirken können (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Flüchtige, organische Komponenten im Retentionsbereich >n-Hexadecan C₁₆ (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

gesamte geometrische dreidimensionale Ausdehnung eines Betriebsmittels (Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Die Technische Sauberkeit bewertet Restschmutzpartikel auf Komponenten und Systemen im Automobil. Bauteile frei von den spezifisch kritischen Partikeln gelten als technisch sauber. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Teilchen sind feste, flüssige oder gasförmige Bestandteile sowie Mikroorganismen, die sich in schwebeförmiger Verteilung befinden.

Maximale lineare Abmessung des Teilchens (des Mikroorganismus) in Mikrometer.

Teilchenkonzentration ist die Summe aller Teilchen in 1000 cm³ Luft, die gleich oder größer ist als die Bezugsteilchengröße.

Gerät zur Messung des Reinheitsgrades.

Summe der Konzentration der mit einem Kohlenwasserstofflösemittel (Siedepunkt zwischen 36°C und 69°C) extrahierbaren Stoffe, die an Florisil nicht adsorbieren und die mit Retentionszeiten zwischen denen von n-Decan (C₁₀H₂₄) und n-Tetraoctan (C₄₀H₈₂) chromatografisch bestimmt werden können [DIN EN ISO 9377] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Thermisches Herauslösen von flüchtigen Substanzen aus einem Trägermaterial.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 17, Düsseldorf 2013)

total organic carbon; gesamter organischer Kohlenstoff (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

= Gesamtkohlenstoffgehalt, Total Organic Carbon

Im Wasser enthaltener organisch gebundener Kohlenstoff, gebunden an gelösten oder suspendierten Stoffen. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Die Tonhaltigkeit eines Geräusches hängt davon ab, wie deutlich sich aus dem Geräusch mindestens ein Einzelton hörbar heraushebt. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Transportsysteme werden zur Verkettung mehrerer Fertigungsanlagen oder Fertigungszellen eingesetzt. Als flexibelste Systeme sind mobile Industrieroboter zu nennen. Alternativ stellen die weniger flexiblen Reinraumtransportsysteme in Form von Magnetschwebebahnen, Elektrohängebahnen, oder Tunneltransportsysteme eine Möglichkeit zur Automatisierung des Materialflusses dar. [Jürgen Geißinger, Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme, Springer-Verlag 1989]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

eng.: Servierbrett, Präsentiertablett, ein Werkstückbehälter in standard- oder Sonderformat für die Bereitstellung von Teilen in der Fertigung und für den Transport von Teilen. Die Werkstücke befinden sich in Formnestern auf eigenen Speicherplätzen. Typisch sind tiefgezogene Ausführungen aus Kunststoff. [Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse, Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Elektrische Aufladung, die durch Reibung oder durch Trennung von zwei Oberflächen erzeugt wird. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Luftverteilung, bei der in den reinen Bereich eintretende Erstluft mit der Innenraumluft durch Induktion vermischt wird. (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Eine Luftströmung, die der Definition der turbulenzarmen Verdrängungsströmung nicht entspricht, da sie entweder eine Mehrfachzirkulation oder nicht-parallele Strömungslinien aufweist. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

“nicht in einer Richtung verlaufender Luftstrom

Luftverteilung, bei der in den Reinraum oder reinen Bereich eintretende Erstluft mit der Innenraumluft durch Induktion vermischt wird” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

“unidirektionaler Luftstrom

geregelte Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeit über den gesamten Querschnitt eines Reinraums oder reinen Bereichs, die als parallele Luftströmung angesehen wird.” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Die Luft strömt in einer Richtung durch den Reinraum oder den reinen Bereich mit in der Regel paralleln Strömungslinien (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Übereinen gesamten Querschnitt des reinen Bereiches fließt ein gleichgerichteter Luftstrom mit möglichst gleichförmiger Geschwindigkeit und fast parallelen Stromlinien.

Es ist keine Gleichförmigkeit von Strömungsbild und Geschwindigkeit der Luft im reinen Bereich gegeben.

Summe aller flüchtigen, organischen Komponenten im Retentionsbereich zwischen n-Hexan C6 und n-Hexadecan C16 (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013) 

Total reflection x-ray fluorescence spectroscopy; Röntgenstrahlinfluoreszenz-Spektroskopie (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

siehe Sit-Over-Bank

Das Ultra Low Penetration Air-Filter ist ein Schwebstofffilter mit einem minimalen Abscheidegrad von ≥ 99,9995% nach EN 1822. Es ist somit effizienter als ein HEPA-Filter.

• Abscheidegrad U15 ≥ 99,9995%
• Abscheidegrad U16 ≥ 99,99995%
• Abscheidegrad U17 ≥ 99,999995%

Hochleistungs-Schwebstofffilter (Ultra Low Penetration Air Filter), Klassen U 15 bis U 17 (siehe Tabelle).

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikel mit einem Äquivalentdurchmesser kleiner als 0,1 μm

(Quelle: VDI 2083 Blatt 1, Januar 2013)

Extrem niedrige Luftfeuchtigkeit

Reiner Bereich um den Kernbereich (Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1, Düsseldorf 2006)

Raum, in  dem das in einem Reinraum arbeitende Personal seine Reinraumkleidung anlegen bzw. ablegen kann. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Umluft ist der Teil der Abluft, der direkt oder indirekt im Kreislauf dem reinen Bereich wieder zugeführt wird.

Unreiner Bereich ist der, in dem mit medizinischem Untersuchungsgut oder vermehrungsfähigen Mikroorganismen gearbeitet wird (z.B. Labortische, Stallungen mit infizierten Tieren.) (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

Die untere Betriebsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz, bei der die Erneuerung des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium, die über den Druck gesteuert werden, abgestellt werden.

Sie wird in Pa angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Als unterwiesene Person gilt, wer über die ihr übertragenen Aufgaben und die möglichen Gefahren bei unsachgemäßem Verhalten unterrichtet und erforderlichenfalls angelernt sowie über die notwendigen Schutzeinrichtungen und Schutzmaßnahmen belehrt wurde. (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

ultrapure water; Reinstwasser/ ultrareines Wasser (Quelle: SEMI E137-0705, guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment, 2004)

“Dokumentierte Bestätigung, dass die Anforderungen einer spezifizierten Anwendung erfüllt werden. [VDI 2083 Blatt 5.1]”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Vibration classification (VC-A – VC-E); Schwingungsklassifizierung (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Ist eine Form der Raumlüftung, bei der der Raum insgesamt oder zonenweise gleichmäßig mit Zuluft durchströmt wird. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Wird vielfach auch als Mischlüftung bezeichnet, ist eine Form der Raumlüftung, bei der die Raumluft insgesamt oder zonenweise mit Zuluft vermischt wird. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Maß für die Wirksamkeit des Filters, den atmosphärischen Staub aus der Testluft abzuschneiden.

Das Verfahren, diese Größe uzu bestimmen, basiert auf dem Vergleich der Lichtdurchlässigkeit von Filterpapier in vor und nach dem Prüfling angeordneten Meßsonden.

Anfangs-Verfärbungsgrad (E1): Erster Wert, der im Laufe eines Tests für den reinen, neuen Filter erhalten wird.

mittlerer Verfärbungswirkungsgrad: gemittelter Wert der Wirkungsgrade, die bei Staubbeladung des Filters im Laufe der Prüfung festgestellt wurden.

(Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Das Verfahren, bei dem der Schallleistungspegel durch Vergleich der Schalldruckpegel einer Quelle im Hallraum mit den Schalldruckpegeln, die eine Vergleichsschallquelle bekannter Schallleistung im gleichen Raum erzeugt, berechnet wird. (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)

Bestätigung durch Bereitstellung eines objektiven Nachweises, dass festgelegte ANforderungen erfüllt worden sind. [DIN EN ISO 9000, 3.8.12] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Fortschreitender Materialverlust aus der Oberfläche eines festen Körpers (Grundkörper), hervorgerufen durch mechanische Ursachen, das heißt Kontakt- und Relativbewegung eines Gegenkörpers (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Die vertikal in den reinen Bereich einströmende Zuluft erzeugt eine vertikale turbulenzarme Verdrängungsströmung.

Die Luft strömt senkrecht und turbulenzarm, die Partikel werden mit einer gleichmäßigen Luftströmung von oben nach unten abgeführt. So werden einzelne Arbeitsbereiche gut voneinander isoliert und beeinflussen sich weniger.

Vorhandensein fester, flüssiger und gasförmiger Teilchen und auch Mikroorganismen, die die Ursache von Fehlstellen im Technologischen darstellen.

“Verunreinigung: jedwede partikelförmige, molekulare, physikalsiche oder biologische Einheit, die sich auf das Produkt oder den Prozess nachteilig auswirken kann [DIN EN ISO 14644-4, 3.5]

physikalische Verunreinigung: Beeinflussung des Prozesses des Produkts, des Personals oder der Einrichtungen durch physikalische Faktoren wie Feuchte, Temperatur, Schwingungen, elektrostatische und elektromagnetische Felder

partikuläre Verunreinigung: Teilchen, die den Prozess, das Personal oder die Einrichtungen beeinflussen können

Anmerkung 1: Partikel gelangen hauptsächlich durch Ablagerungseffekte auf Oberflächen. Diese Ablagerungsvorgänge werden vor allem durch physikalische Vorgänge wie Gravitation, Elektrostatik, Diffusion, Thermophorese oder einer Kombination aus diesen verursacht.

Anmerkung 2: Partikuläre Verunreinigungen können durch relative, chemische Vorgänge wie Korrosion oder durch Abrieb an einer Oberfläche entstehen. “

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Flüchtige, organische Komponenten im Retentionsbereich zwischen n-Hexan C₆ und n-Hexadecan C₁₆

Ist der Oberbegriff für VVOC, VOC, SVOC und TVOC (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Luftfilter, der vor einem anderen Filter eingebaut wird, um dessen Beladung zu verringern. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Als Vorfilter werden Filterelemente bezeichnet, die eine weitere Filterstufe in lufttechnischen Anlagen vorgeschalten sind. Meist geschieht dies, um Schwebstofffilter (HEPA- oder ULPA-Filter) vor einer zu hohen Partikelbelastung zu schützen und damit Kosten zu senken. Je nach Aufbau können mit Vorfilterelementen Partikel oder auch molekulare oder atomare Kontaminationen aus der Luft gefiltert werden.

Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 100 000. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Vapor phase decomposition; Dekompilierung der Dampfphase (Quelle: SEMI E44-96, Guide for Procurement and acceptance of minienvironments, 1995)

Sehr flüchtige, organische Komponenten im Retentionsbereich <n-Hexadecan C6 (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Ein verschließbarer Container bestehend aus einem Sockel und einem Deckel (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Handhabungsgerät in der Halbleiterfertigung zum Aufnehmen und Halten von Wafern für verschiedene Bearbeitungsschritte. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Die Kennzeichnung auf der Wafer box, die die Bezeichnung des Inhaltes und des Herstellers enthält. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

eng.: “Wafer”, Siliziumscheibe,

ein spezieller Greifer, der einen oder mehrere Wafer anfassen, halten und bewegen kann. Bei der Gestaltung des Wafer-Greifers ist entscheidend, dass die Greiferbacken keinen großen Anpressdruck ausüben, beim Greifvorgang keine Gleitbewegung zwischen der Greifbacke und der Scheibe entsteht und dass die Siliziumscheibe senkrecht und waagerecht gehandhabt werden kann. [Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse, Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Die Verbindung von einer Wafer box und einer Box wrap. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Die Position des Wafers in einem Behälter. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Der Vorgang des Transports eines Wafers von einem Behälter in einen anderen. Dies kann durch verschiedene Vorgehensweisen geschehen. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, ist ein Arbeitsbereich im Reinraum mit definierter Partikelreinheitsklasse der Luft (nach ISO 14644-1)

Arbeitsbereich mit definierter RKL (10⁵; 10⁴; 10³) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Alle festen oder pastösen Materialien und Oberflächenbeschichtungen (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Eine Reine Werkbank ist ein Arbeitstisch mit einer Reinstluftversorgung (siehe Lüfter-Filter-Modul), welche die Arbeitsfläche mit einem vertikalen oder horizontalen Reinstluftstrom versorgt.

Der Zählwirkungsgrad eines Partikelzählers gibt an, welcher Anteil der im analysierten Volumenstrom suspendierten Partikel tatsächlich durch das Messvolumen gelangt und dort gezählt wird. Er ist das Verhältnis der vom Gerät ermittelten Konzentration (korrigiert für mögliche Koinzidenzfehler) und der tatsächlichen Konzentration des Aerosols. Der Zählwirkungsgrad ist von der Partikelgröße abhängig und nimmt in der Nähe der unteren Nachweisgrenze eines Partikelzählers allmählig ab.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikelzählereignisse pro Zeiteinheit

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

• Servicezone (SZ): Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM

– zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;

– für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;

– für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüssen

• Gangzone (GZ): Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen
• Arbeitszone: Aufstellbereich der E-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen)
• Roboterzone: Arbeitsbereich des RR-Roboters, keine Belegung durch EM und andere Baugruppen
• Fügeeinheiten: Montagegruppen aller Fertigstellgrade
• Fügeprozess: Montagearbeiten wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindeabschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a.
• Grobreinigung: Reinigung aller Materialien für den Montageprozess des EMB
• Vorreinigung: Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung … unter RKL 100 000
• Feinreinigung: … unter 10 000
• Feinstreinigung: … unter 1000

Quelle: “Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen” Blatt 10, 01.02.89, Richtlinie des Generaldirektors, Kombinat VEB Carl Zeiss Jena

Zuluft ist aus den Schwebstofffiltern oder Luftauslässen in den reinen Bereich kontrolliert einströmende, gefilterte Luft vor Aufnahme von Verunreinigungen. (Quelle: DIN, Besondere Anforderungen an das Fertigungsumfeld Reinraumtechnik, Blatt 1)

Den Schwebstofffiltern vorgelagerter Druckraum zur Luftverteilung und Erzielung eines gleichmäßigen Abströmdruckes.